光的振幅、强度分布进行调制或只对读出光的位相分布进行调制)、读出光和写入光的工作波长或波长范围以及有效工作面积等。空间光调制器功能不同,描述其性能具体技术性能参数也不同,也不能要求每个性能参数都最佳。就它们的主要技术性能参数介绍如下。
1.输入-输出特性曲线
空间光调制器的透射率或输出光强随写入信号的变化曲线称为输入-输出特性曲线,简称特性曲线或响应曲线。如图6.2所示,其纵坐标为透(反)射率或输出光的(相对)强度;横坐标为写入信号的大小,对光寻址空间光调制器其单位用光能密度单位(J/m2)或光功率密度单位(W/m2),对电寻址空间光调制器其单位为信号电压单位(V)或电流单位(A)。
2.灵敏度
不同类型的空间光调制器,其灵敏度的含义也不同。大致可有三种定义:阈值灵敏度、指定值灵敏度和特性曲线斜率。阈值灵敏度是指使透(反)射率产生刚可察觉的变化所需要的最小写入信号大小,其倒数又称为器件灵敏度。与其含义相似的另外一个参数是开关能量,它是指使器件能够操作的、每个像素所需的最小写入信号能量,单位用皮焦耳(pJ)或微焦耳(μJ)。指定值灵敏度是指使透(反)射率的变化达到某一特定值所需写入信号的大小,“指定值”通常采用最大、最小透(反)射率之差(百分数)。特性曲线斜率是透(反)射率的改变量与输入信号改变量之比,即透(反)射率对输入信号的微商,它表示透(反)射率随输入信号变化的灵敏度,通常指特性曲线上直线段(线性部分)的斜率。
3.对比度
对比度又称反差。对于振幅或强度调制器,对比度可定义为最大输出与最小输出之比, γ=<Imax>/<Imin> (6.1) 其中Imax和Imin分别是在空间均匀的写入信号下的最大和最小光强(或透过率),< >表示对空间求平均。这是由于器件材料和功能的非均匀性造成每个像束的输出特性并非完全一致。对于这种缺陷往往还可用光学均匀性来描述。对比度还可以用另外一个参数-动态范围(DR)来表示,它是对比度的对数,一般不带单位,也可以分贝(dB)为单位,这时有 DR=10·log10γ(dB) (6.2) 例如,铌酸锂(LiNbO3)微通道空间光调制器的对比度可达100∶1,动态范围为2或20dB。
4.灰阶数
透射率(T)的另外一种表述方式为灰度或称为光学密度(D),二者之间的关系为 D= -log10T (6.3)
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