1.IC 通过一系列特殊的加工工艺,将晶体管,二极管等有源器件和电阻,电容等无源器件按照一定的电路结构互连,“集成”在半导体单晶片(硅或者砷化镓)上,封装在一个外壳里面,从而完成特定的电路或者系统功能 Chapter 2
2.集成电路电阻:1.扩散电阻(中温度系数,中阻值)2.夹断电阻(上拉,下拉电阻,高温度系数,精度差)3.阱电阻 (夹断电阻的变形,应用于音频电路)4.多晶硅电阻(寄生电容小,温度系数小,电压系数好)
3.寄生电阻对电路影响:功率损耗,信号串扰,噪声
4.电容:两层板的材质可以是金属。多晶硅。扩散区,pn结电容,mos电容(多晶硅栅与源漏两级)
5.寄生电容对电路的影响:电路震荡,电路不稳定,信号串扰失调,影响电路高频特性,滤波
6.多子扩散使空间电荷区变宽,而少子漂流变窄,内电场越强就会使漂移越剧烈最终达到平衡
7.加正向电压使空间电荷区的宽度变窄,导通电阻变窄,扩散电流变强,内电场被削弱 8.双极性器件高速,耐久,功耗大,功率高,cmos电路高集成度,低功耗(场控器件) 9.cmos以及npn管电路的工作原 Chapter 3
10. 晶圆制备:
原材料(沙子,石英等矿石)(冶炼,酸洗,蒸馏,还原)多晶体硅SGS(晶体生长)单晶硅(研磨,抛光,切割) 晶片
11.单晶硅的生长a.直拉法:材料可重复使用,更普遍,成本更低,尺寸更大,位错,电阻率低,氧化高,大晶体,有坩埚 b.区熔法:单晶硅纯度高,成本更高,功率器件,尺寸更小(简答?)单晶拉伸与转动结构,籽晶,单晶硅,熔融的多晶硅,石英坩埚,碳加热部件,热屏蔽,水套 工艺流程:籽晶熔接,引晶和缩颈,放肩,等襟生长,收晶 关键参数:拉伸速率和晶体旋转速度,关键问题:掺杂和氧杂 双极 111 45,0 cmos 100 180,90
12.硅片制备:单晶生长,单晶硅锭,去头径向研磨,定位边研磨,硅片切割,倒角,粘片,刻蚀,抛光,硅片检查 (简答?)
13.外延层的特点及其应用:1.单晶(与衬底晶向相同),2.不同工艺外延层厚度不同,3.厚度,掺杂浓度,导电性能可以按照具体情况而变动,可以是多层,4.没有玷污 5.提高电路性能,降低冉锁效应 ?
14.定位边沿切 (简答?如何标识)
Chapter4
15.氧化,光刻胶,掩膜与硅片对准曝光,显影,氧化硅刻蚀,去除光刻胶,氧化,多晶硅淀积,多晶硅光刻刻蚀,离子注入,有源区,氮化硅淀积,接触刻蚀,金属淀积刻蚀 16. 抛光 薄膜 扩散 光刻 刻蚀 测试/拣选 注入
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