8.当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏度过低时，可沿探棒注水使其湿润。
离子风机测试仪（3M-718/3M-718A）
1、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应大于“+1000V”。
2、 在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
3、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应小于“-1000V”。
4、 离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
5、 在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。 注意：要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V 手腕监视器电容测试仪（SAML1800）：
测试时，开关旋转至“1801FALL”档，SALM1801S-I的LED变成红色，蜂鸣器发出报警声响；旋转开关至“1801PASS”档，SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。此为合格。 5.2测试项目
5.2.1静电接地极电阻测试
每半年使用ZC29B进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。 5.2.2设备、仪器接地电阻测试
每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后
要立即测试）测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
1. 设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率：每月。
2. 电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率：每天。
5.2.3静电接地线接地电阻：
每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方
法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端插在电源地线孔里。要求电阻值小于10Ω。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.4防静电工服
PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻
1×105?≤RS<1×109?（上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。如检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流入产线。
5.2.5防静电工作台
PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在
1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.6地板
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表面电阻在
1*105~1*109?之间。每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立区域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极距离为0.6米～1米，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在1*105-1*109Ω之间。测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端插入电源地线插孔里。每100平米测试1个点。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7物流器具（如：周转箱、周转车、货架）
由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电压小于
100V，周转箱表面电阻：1×103?-1×109?，每次每种器具抽检，每1条线抽检10Pcs，如果有1Pcs不合格则全检。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次，要求周转车，货架表面电阻小于
1×109?，接地电阻在1×103?-1×109?之间。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.8腕带、工鞋性能检测
操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果由电脑自动保存，产线专门
人员进行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，
对于有可能接触产品的职员（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保存。如有测试不合格者需立即到IPQA处更换。测试合格后方能进入产线。
腕带系统电阻：800KΩ—10MΩ；工鞋系统电阻：100KΩ--35MΩ。 5.2.9静电场检测
由ESD专员负责每季度使用静电场测试仪（TREK520）对车间各工位的静电场强进行一
次测试，并将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
测试要求：距工作台30CM范围内，静电值要小于+/-100V 5.2.10离子风机测试
由ESD专员负责每季度使用 3M-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试，测试内
容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将结果记录在《ESD点检记录表格》中
测试要求：测试仪器距离离子风扇正前方30厘米；合格标准:1000V降到100V的消电时间
小于3秒，平衡电压绝对值小于40V。
注：CPM要分别在正、负两种充电状态下测试 5.2.11防静电工作椅子
由ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻和接地电阻都在
1×105-1×109欧姆之间，。将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.12传送带测试
由ESD专员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，要求表面电阻在1×105-1×109欧姆之间。每条传送带测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
手腕监视器测试
由 ESD专员负责每半年使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。测试不合格立即更换。
5.3防静电包装材料的测试
5.3.1认证测试：首先要求供应商送样给PE确认，同时附上产品的相关参数说明书或产品相关性能指标认定书，经PE验证合格后方可采购。
防静电性能测试环境要求：温度23±5℃,湿度15±5％ 测试项目 材料 表面摩擦屏蔽泄高温环境模拟测ESD标志 电阻 PE袋 吸塑盒、物料盒 汽珠袋、泡棉 有机保护屏 缓冲材料 屏蔽袋 防静电胶带 防静电防尘布 打“√”为必测项目
高温测试：在温度为60℃，湿度为15％的干燥箱内烘烤12天或在温度为70℃，
√ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ 电压 √ √ 漏电压 试 √ √ √ √
相关推荐：
loading