三氟化氮的市场概况及营销策略

三氟化氮的市场概况及营销策略

摘要：随着三氟化氮（NF3）产品使用范围逐渐推广，国内对其市场状况给予了诸多关注。笔者结合NF3的制备工艺，在大量的市场状况分析下，提出NF3产品的营销策略，包括产品策略、价格策略和系统化的市场营销策略。

关键词：三氟化氮；市场；营销；制备工艺； 1 三氟化氮制备工艺介绍

三氟化氮（NF3）在微电子制造中作为一种优良的等离子蚀刻气体和CVD室清洗气体，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量运用。NF3气体广泛应用与高能激光、半导体技术及化学气相沉积等领域，具有很好的应用前景。但作为一种电子气体，它对NF3气体的纯度有较高的要求，一般其纯度不得低于99.99%，并且其中的关键性杂志如CF4的含量不得高于50PPm，这就使得制备高纯度的NF3气体有较大的难度。

制备NF3气体的方法基本上可以分为化学合成法及电解法两种，且它们都有很多种实现方法，比较经典的化学合成法是用NH3与F2反应制得NF3气体，而经典的电解法是用NH4F-xHF（或加少量KF）为电解液体系电解制备NF3气体。

一般，化学合成法具有合成反应较安全的特点，其缺点是合成反应后的产物中NF3气体的含量较电解法低，而且其CF4的含量一般都很高（在0.3%以上）；而采用NH4F-xHF（或加少量KF）为电解液体系电解制备NF3气体具有较高的产率及纯度，比较有利于提纯制备高纯度的NF3气体，其缺点是电解过程中易发生爆炸现象。

通常，以NH4F-xHF（或加少量KF）为电解液体系电解制备NF3气体是采用碳为阳极，碳材料阳极具有使用寿命长、点解废渣少的优点，但它也有一个严重的缺点，电解产生的NF3气体中CF4的含量较高（一般高于500PPm）。由于CF4气体的沸点与NF3气体的沸点只相差1℃，且它们的其他物理、化学性质也极为接近，分离NF3气体的难度及生产成本，不利于工业化生产高纯度的NF3气体。

阳极点解气中CF4气体杂质的含量主要与所使用的阳极材料有关。一般用碳做阳极材料时，由于三氟化氮电解槽在点解过程中，阳极会有一定的腐蚀，被腐蚀的碳与电解时产生的F结合生成CF4气体，从而增加了阳极电解气中CF4杂质的含量。为去除阳极电解气中的NH4F及HF等高沸点杂质，传统的方法是用固体碱吸收或用碱液洗涤，这两种方法都要经常更换试剂，影响了生产的连续运行，操作比较烦琐。

2 三氟化氮的市场概况