第08章-离子注入工艺 - 图文
说明：文章内容仅供预览，部分内容可能不全，需要完整文档或者需要复制内容，请下载word后使用。下载word有问题请添加微信号:xxxxxxx或QQ：xxxxxx 处理（尽可能给您提供完整文档），感谢您的支持与谅解。
半导体制造技术导论（第二版）第八章离子注入工艺
白雪飞
中国科学技术大学电子科学与技术系
提纲
?简介
?离子注入技术简介?离子注入技术硬件设备?离子注入工艺过程?安全性
?离子注入技术发展趋势
2
简介
集成电路制造工艺流程
集成电路制造工艺流程
4
第08章-离子注入工艺 - 图文.doc
将本文的Word文档下载到电脑，方便复制、编辑、收藏和打印
loading