电荷中性化系统
?晶圆电荷效应
–离子注入将正电荷带入晶圆表面–带正电荷的晶圆表面排斥正离子–引起射线放大和不均匀离子注入–导致整个晶圆掺杂物分布不均匀
?电荷中性化系统
–等离子体注入系统–电子枪–电子淋浴器
晶圆电荷效应形成的非均匀离子注入
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等离子体注入系统
等离子体注入系统
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电子枪系统
电子枪系统
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晶圆处理器
?晶圆处理器的作用
–在整个晶圆表面形成均匀的离子注入
–通过移动离子束或晶圆，使离子束均匀扫描整个晶圆
?晶圆处理器的种类
–旋转轮式晶圆处理系统–旋转盘式晶圆处理系统–单晶圆扫描离子束系统–单晶圆扩展离子束系统
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