(六)与其他企业、科研院所、大专院校的合作 ............................................................. 45 (七)国家、部门、省市地方的具体支持方式等外部环境状况 ..................................... 46 (八)已组建的省部级同领域中心运行情况 ..................................................................... 47 八、组建内容及实施方案概述 ..................................................................................................... 49
(一)组建目标 .......................................................................................................................... 49
1、总体目标 ................................................................................................................... 49 2、近期目标 ................................................................................................................... 50 3、远期目标 ................................................................................................................... 54 (二)工程技术开发的主要内容 .............................................................................................. 56 (三)中心管理体制及运行机制 .............................................................................................. 57
1、组织建设 ................................................................................................................... 57 2、研发机制 ................................................................................................................... 58 3、财务运作机制 ........................................................................................................... 59 4、管理制度 ................................................................................................................... 59 5、人员配备情况 ........................................................................................................... 60 (四)组建经费预算(经费来源及使用).................................................................................... 62 (五)年度计划内容 .................................................................................................................. 63 九、结论......................................................................................................................................... 64 十、附件......................................................................................................................................... 66
一、中心名称
光学薄膜国家工程技术研究中心
二、依托单位
某某光电股份有限公司
三、主管部门
河南省科技厅
四、申报日期
二〇〇九年四月
五、组建背景和意义
(一)本技术领域的确切含义
薄膜科学与技术涉及的范围极广,它包括以物理气相沉积和化学气相沉积为代表的成膜技术,以离子束刻蚀为代表的微细加工技术,成膜、刻蚀过程的监控技术、薄膜分析、评价与检测技术,薄膜材料的应用、开发及科学研究等。薄膜技术既是综合性的应用科学,又涉及到许多跨学科的理论基础,近年来正日益发展成门类齐全的薄膜产业。
光学薄膜技术是以Maxwell电磁理论为基础,利用光的干涉现象,用物理、化学等方法把材料(金属、非金属等)沉积在基板表面形成薄膜的成膜技术。它是一种基于超精密加工的先进制造技术。对于其他先进制造技术而言,正如数学对于其他诸多学科,是一种对其他诸多行业起支持作用的、基础性的先进制造技术。它涵盖成膜技术、成膜装备技术、成膜材料技术、检测技术四大技术领域。
光学薄膜成膜技术成膜装备成膜材料检测设备膜系设计设软件计真空技术沉积技术监控技术膜料技术检测技术图:光学薄膜产业体系
能源、材料、信息科学是新技术革命的先导和支柱。作为特殊形态材料的薄膜,已成为微电子、信息、传感器、光学、太阳能利用等
技术的基础,并广泛渗透到当代科技的各个领域,而且特殊功能、特殊用途的光学薄膜材料的开发本身就是高技术的重要组成部分。在新材料发展最活跃的一些领域,如新材料的合成与制备,材料表面与界面的研究,低维材料的开发等无一不和光学薄膜技术有关。由于真空技术、薄膜材料与技术和表面物理相结合,促进了光学薄膜技术的迅速发展,也推动了光学薄膜产品的开发与应用。
当今世界光学薄膜产业飞速崛起。一些发达国家在卷镀光学薄膜产品、建筑玻璃镀膜制品、集成电路薄膜、太阳能用薄膜、液晶显示膜等都已具有相当大的生产规模。这充分表明国际上光学薄膜产业方兴未艾,前景光明。
(二)重要性
1、“中心”所在行业对国民经济和社会发展的作用
(1)可以提升国家光学薄膜行业整体水平,突破国外关键技术的壁垒。光学薄膜工程技术研究中心建成后,通过对光学薄膜核心技术和关键技术的工程化研究以及成果的推广和服务,可以极大地提高我国光学薄膜行业的整体水平,打破国外关键技术的壁垒,对带动光电子等相关行业的发展,增强民族光学工业、光学薄膜产业的核心竞争力意义深远。
(2)把光学薄膜提升到产业的高度,开拓一个全新的技术行业领域,能极大地提高其它行业发展所需的高精度光电仪器的核心技术开发能力,对实现我国产业升级起到关键性的作用。光学薄膜工程技术研究中心将会提高全行业的工程化技术研究水平,形成系统、规范
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