湿度检测过程中V3，V4均处于打开状态，所以真空箱和工件同时被抽真空。当真空箱压力抽到20Pa时，检漏仪会自动启动，并对当前真空箱内氦本底进行测量，并记录此值，（检漏时系统会将测得的漏率值减去这个本底值，以保证显示值就是工件实际的漏率），然后关闭V4，打开V5对工件充入0.8Mp低压氦气(此值可设定)，对工件检中漏。系统自动判断工件是否合格并给出声光报警或提示。如果不合格则自动放气，将工件取下，贴上相应标识，结束本次检漏。 4、 检微漏
若没有发现中漏，则继续对真空箱抽真空，同时对工件内充入高压氦气，模拟工件工作环境进行检微漏。如果工件不合格系统将报警，反之系统给出提示。 5、 氦气回收
微漏检测完成后，自动进入回收程序（详见3.1）。回收完成后，系统关闭V1， V3，V4，V5并暂停检漏仪，打开V6, V7,对真空箱和工件放气，将工件取下，贴上相应标识，结束本次检漏。 6、 补充说明
（1）系统设两个真空箱，一个真空箱检漏的同时，另一个真空箱装卸工件，提高了检漏效率。
（2）每箱放两个工件，两工件同时进行充氮、保压、抽空、充氦、检漏、回收等工序。如果测得工件有漏，则将两个工件均作为不合格品。
五、 主要配置如下：
本系统的主要部件全部采用进口名牌的部件，以保证系统运行的稳定性和可靠性。
（一）、氦质谱检漏仪
1. 质谱模块（英福康LDS1000） 2. 电器模块（皖仪科技） 3. 真空泵（莱宝D8C） （二）、真空箱装置的主要部件
1. 不锈钢真空箱 2. 不锈钢真空管道 3. 真空阀门
4. 主抽泵（英国爱德华EH1200）
1套 1套 1台 2个 1套 6只 1台
5. 粗抽泵（德国莱宝SV300） 6. 真空测量（TTR91） 7. 真空箱开启装置（气动） （三）、充氦回收装置
1. 低压罐
2. 抽件泵（莱宝D16C） 3. 主压缩机（英格索兰） 4. 回收泵（莱宝D16C） 5. 高压阀门 (德国宝蒂) 6. 高压气路管道及连接头 7. 压力表及传感器（MSI） 8. 氦浓度计 （四）、 电器控制装置
1. 可编程控制器PLC（LG） 2. 彩色触摸显示屏（台湾EVIEWE） 3. 电器部件
4. 电器控制柜
1台 2套 2套 1只 1台 1台 1台 16个 1套 2套 1个 1套 1套 1套 1套
六、 工作环境
1. 电源：
380V-3相电源 30KW电耗
2. 温度： 5－35℃；
3. 环境湿度： ≤80%
4. 冷却水： (1).水压: 0.25Mpa,水温 35℃ 以下 (2). 水质: 工业用水 5. 压缩空气：(1). 压力: 0.4-0.7MPa 6. 高压氮气：(1). 压力: ＞3.0MPa 7. 氦气：(1)99%纯度以上的瓶装气体; (2). 压力: >1MPa(用减压阀调整)
8. 水、电、气提供到装置接口处
9. 被检工件外表面和内管道应无水.无油. 无其它腐蚀性液体和气体,无铜
屑和铝屑；进入真空箱的工件上应无泡沫、毛毡等附着物。
10. 被检工件的管头应无毛刺,端面平整 ,密封部位尺寸控制在形位工差要
求范围内。
七、 交货期
合同生效后100个工作日。
八、 保修
1. 设备自送达客户工厂15天内起，提供1年的免费保修期，易损件除外（包
括各种密封圈，真空泵油等）。
2. 保修期后，我公司将继续提供零备件，终生维护。 3. 用户报修后，1小时内电话做出响应。
九、 安装、调试和培训
1. 在设备到达用户工厂前，用户需按要求准备好安装条件，并配合设备在
工厂的安装及调试。
2. 设备到货后，我方派技术工程师到用户指定地点进行安装调试和培训。 3. 在安装调试期间，我方对用户相关人员进行操作培训、维修培训、设备
保养培训，以使相关人员能够正常的使用、维修保养设备。 4. 免费提供应用咨询及科研咨询。
十、 验收标准
1. 我方保证所提供的产品完全符合与需方签署的技术协议要求。 2. 验收标准：双方签署的技术协议。
3. 验收程序： 我方制造调试好设备后，如有需要用户可带被检件前往我方
厂房试检，作为初期验收，设备运往用户工厂后根据技术协议逐条验收，并进行操作、维修等技术培训，验收合格后双方签字生效。
4. 用户收到设备后应及时对设备进行验收，如延期因需方保管出现的产品
质量问题由需方负责。
十一、 技术保密
乙方提供的全部技术资料中属于乙方商业秘密和专利、专有技术的甲方承担保密义务。
十二、 备注
在该规格中未详细列明的任何情况，将被认为在范围之外。本公司保留按 照改进的产品或标准更改该方案的权利。
十三、 效果图
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