光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201510292513.9 （22）申请日 2015.05.30 （71）申请人 浙江大学

地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

（10）申请公布号 CN105182000A

（43）申请公布日 2015.12.23

（72）发明人 卢乾波;娄树旗;焦旭芬;白剑 （74）专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公司

代理人 张法高

（51）Int.CI

G01P15/093;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法

（57）摘要

本发明公开了一种光学MEMS加速度计中

三光路信号补偿系统及其方法，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换AD转换模块，减法器，除法器，数据存储求和平均模块、乘法器，以上模块均由一个可编程数字信号处理器实现。本发明结构相对

简单，可有效降低由于光源自身功率波动和环境光对输出信号的影响，相比采用具有很高功率稳定性激光器的方案可以有效降低光学MEMS加速度计的成本。而且该系统和方法能够有效应用于光学MEMS加速度计中，减小其输出信号的扰动，最终提高加速度测量零偏稳定性和精度。

法律状态

法律状态公告日2015-12-23 2015-12-23 2016-01-20 2016-01-20 2018-05-22

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

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公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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