实验一：面形的三维干涉测量及评价(PV值与RMS值)

实验一：面形的三维干涉测量及评价（PV值与RMS值）

一、实验目的：

1. 了解表面三维形貌的高精度实时测量原理 2. 实测一个平面光学零件的表面形貌 3. 对评价指标PV，RMS的定义有所掌握

二、实验原理：

本实验采用数字干涉测量原理进行，本实验与实验二的不同是测量中采用了扫描技术，因而可以实现面形的三维测量。高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标，如下图所示。

1． PV值??是表面形貌的最大峰谷值

2． RMS值??是表面形貌的均方根值，RMS的定义是：

RMS???v2N?1

PV 表面形貌 RMS 式中v?xi?T，xi??单次测值，

T??xNi，N??重复测定次数。

面形精度的评价 三、实验光路

1 2 35 6 9 8 7 10 送计算机 24 23 22 20 14 16 PZT

18

1－激光器 3,5－定向孔 6,7,9,16－反射镜 8－物镜 10－准直透镜 14－分光棱镜 18－带压电陶瓷的组合工作台 20－成像透镜 22－可调光阑 23－光电接收器 24－导轨

四、实验步骤：

1． 扩束

2． 将工作台16，18上的平面反射镜换成曲面或台阶面（其干涉条纹的形状与反射面面形

有对应定量关系）

3． 调整CCD23在轨道上的位置，使干涉条纹清晰，锁定23 4． 调节可调光阑22孔径位置，滤除寄生干涉光 5． 测量程序操作见软件操作说明书

五、实验记录

被测工件：平面镜

序号 1 2

PV RMS EM 等高图（凹或凸）