光学显微镜-(4)用途??图片21/1022.2 电参数测试分析目的：确认失效模式和失效管脚定位，识别部分失效机理方法：与同批次好品同时进行测试和试验功能测试和管脚直流特性（I-V特性）对照良好样品、产品规范，解释差异结果: 1) *参数漂移*参数不合格*开路*短路*与失效现场不一致2) 确认异常功能和异常直流特性的引脚22/102112.2 电参数测试分析I-V特性分析 好样品VDD端对DGND的I-V特性失效样品VDD对DGND的I-V特性23/1022.2 电参数测试分析注意事项??图示仪:局部和全貌??测试仪:自动测试仪器与随时间蠕变的特性??测试标准和规范：高反压器件和雪崩击穿电压??关于万用表24/102中国可靠性网 http://www.kekaoxing.com122.2电参数测试分析电参数测试可识别的失效模式和机理A.与失效现场不一致B.参数漂移C.参数不合格A.半导体器件离子沾污D.开路B.半导体器件结缺陷E.短路C.半导体器件内部水汽F.间歇失效含量高D.短路铝电解电容器电解液干涸E.。。。25/1022.3 检漏与PIND检漏??结果: 低漏率、高漏率、冒泡??与外观结果的相关性??X-射线检查结果??玻璃绝缘子和焊缝??有裂缝或气泡??不连通和连通26/102132.3 检漏与PIND可动微粒探测与分析??影响:金属可能引起短路，非金属引起沾污??方法: 振动微粒噪声，振动与X光照相结合??可动微粒取样??可动微粒性质分析??可动微粒来源??继电器和电感线圈27/1022.4 X光与扫描声学分析(C-SAM)??X射线透视技术??反射式扫描声学显微技术28/102中国可靠性网 http://www.kekaoxing.com14X射线透视系统-(1)基本结构??X射线源??屏蔽箱??样品台??X射线接收成像系统资料来源：Feinfocus29/102X射线透视系统-(3)技术指标??空间分辨率：亚微米量级；??图像的放大倍数：～104；??被检测物体的尺寸：数百毫米；??被测物体水平旋转：3600 ，Z方向调整：±450的。30/10215
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