MEMS悬臂式开关的失效分析

MEMS悬臂式开关的失效分析

徐欣;郭方敏;葛羽屏;李成诗;于绍欣;朱荣锦;赖宗声;朱自强;王跃林;陆卫

【期刊名称】《传感技术学报》 【年(卷),期】2004(017)003

【摘要】介绍了一种表面微机械系统开关,悬臂材料为Au/SiOxNy/Au铬金作为电欧姆接触.用静电激励(激励电压为13 V)方式,测试其隔离度.获得结果为微机械开关在1～40 GHz的范围内隔离度可高达35 dB.我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命.结果寿命接近105,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理. 【总页数】5页(492-496)

【关键词】寿命;悬臂接触式开关;驱动电压;失效;ANSYS

【作者】徐欣;郭方敏;葛羽屏;李成诗;于绍欣;朱荣锦;赖宗声;朱自强;王跃林;陆卫 【作者单位】华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点开放实验室,上海,200050;华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点开放实验室,上海,200050;中国科学院上海技术物理所,红外物理国家重点实验室,上海,200083 【正文语种】中文