制造空气主轴和轴承的材料主要有：
① 经表面氮化和低温稳定处理的38CrMoAl氮化钢；
② 不锈钢；
③ 多孔石墨和轴承钢。
另外还有铟钢、花岗岩、微晶玻璃和陶瓷等。
三、精密导轨部件
超精密机床的总体布局
T形布局
十字形布局
R-θ 布局
立式结构布局
常用的导轨部件 ⑴ 液体静压导轨
花岗岩静压导轨
⑵ 空气静压导轨和气浮导轨
空气静压导轨
气浮导轨
床身及导轨的材料
常用的床身及导轨材料有优质耐磨铸铁、花岗岩、人造花岗岩等。
微量进给装置
超精密机床的进给系统—般采用精密滚珠丝杠副、液体静压和空气静压丝杠副。
高精度微量进给装置则有电致伸缩式、弹性变形式、机械传动或液压传动式、热变形式、流体膜变形式、磁致伸缩式等。
目前高精度微量进给装置的分辨力可达到0.001~0.01μm。
精密和超精密微位移机构应满足以下设计要求：
① 精微进给和粗进给分开。
② 运动部分必须是低摩擦和高稳定度的。 ③ 末级传动元件必须有很高的刚度。
④ 内部连接必须可靠，尽量采用整体结构或刚性连接。 ⑤ 工艺性好，容易制造。 ⑥ 具有好的动特性。
⑦ 能实现微进给的自动控制。
⑴ 压电和电致伸缩微进给装置
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