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9.2.3.2 检漏合格后将PC转到“脱蜡”并手动打开氮气主阀和氢气主阀。
a） 充N2至正压30mbar时，关闭氮气主阀，检查配气盘上的气体压力应为（0.2～0.35）kpa。 b） 检查并调节转子流量计的氢气流量为25％。
c） 送电升温并记录送电时间。
9.2.3.3 当程序自动进行到炉温达“保温时间”时，记下时间和温度。
9.2.3.4 当达到“Torvac”温度时，检查并调节流量计的氢气流量为50%，并记录时间温度。 9.2.3.5 “Torvac”结束后，应关闭氢气主阀并做好记录，检查主真空阀是否打开，罗茨泵是否启 动。
9.2.3.6 当炉温升至1350℃时，记录时间，温度和压力，保温30分钟后，蜂鸣器会叫，注意作好记录并将PC转到:
a） PC转到Ar-960mbar向炉内充氩气。
b） 若是热处理烧结，打开二氧化碳气体阀。 c） 当炉内压力达到工艺要求时，将PC转到烧结，并记下时间和炉压，将罗茨泵开关打到“O”。 9.2.3.7 当炉温达到最终烧结温度时，“保温时间2”的定时器启动，记录时间、温度和炉压。 9.2.3.8 “保温时间2”结束时，蜂鸣器会响，并自动切断电源，关闭前级泵，注意作好记录。 9.2.4 冷却
9.2.4.1 正常烧结时，将PC转到“冷却”位置，20分钟后检查并记录时间和温度。 a） 打开碳毡阀冷却阀。 b） 冷却风机启动。
9.2.4.2 当炉温下降至100℃以下，可进行卸炉操作。
a） 将PC转到“0”（三号炉为停机）位置，手动打开空气进气阀。
b） 松开炉门夹具，全打开前炉门。热处理烧结应仔细拆卸二氧化碳石墨条管。 c） 用叉车将炉料平稳叉起出炉。
d） 揭开料垛上部石墨舟盖，自然冷却。 9.2.5 卸料
9.2.5.1 待产品完全冷却后根据指令卡片把产品卸到转料车上。
9.2.5.2 卸料时，根据指令卡上要求在不同垛位上随机取样，同时注意保管好控制片。 9.2.5.3 卸料时，形状相似的产品不得放在同一车上，以免混淆。 9.2.5.4 把取好的样及时送到实验室。 9.3 事故处理
9.3.1 一般故障处理
9.3.1.1 当前级泵启不动时，其原因是油压低和输油管破裂；由机修人员处理。
9.3.1.2 罗茨泵启不动，原因为未打开冷却水或冷却水管道堵塞，处理为打开冷却水阀或疏通冷却水管。
9.3.1.3 升温过程中炉子漏气，应立即打开氩气紧急阀，停止送电，充氩气至正压并保持。 9.3.1.4 氩气阀打不开，原因为管道氩气压力高，可打开氩气紧急阀，调整氩气减压阀使氩气压力表指针指示在约2bar处。
9.3.1.5 PC转到“冷却”位置， 20分钟后冷却阀碳毡阀打不开，风机不启动。原因为压缩空气压力低或机械电器问题报有关部门处理，必要时，将Ramp温度调至310℃。 9.3.2 报警处理
9.3.2.1 PC转到检查位置报警。 a） 检查空气进气阀是否关好。
b） 前级泵是否启动，末启动将它启动。 c） 排气阀是否打开，如打开将它关闭 9.3.2.2 PC转到脱蜡位置报警。
a） 充氮气、氢气后报警，原因为炉内压力低于10mbar或长时间超过5Ombar，检查调节转子
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流量计氢气流量是否为25％或将PEG罐上小阀门开大一些。
b） 过压报警，原因是排气阀未打开或PEG罐上小阀开得太小，处理为将PEG罐上小阀门开大一些或将PC转到真空阀，待炉内压力降至20mbar后再转到脱蜡位置必要时找机电人员处理。 9.3.2.3 可控硅监护报警找电工处理。
9.3.2.4 过温监护报警，原因为监护值过低或热电偶损坏仪表维修人员处理。 9.3.3 突然停水
9.3.3.1 突然停水，应立即切断炉子电源，并报告有关部门接上备用水源。
9.3.3.2 密切注意炉体，尤其是电极部位的温度升温不超过70℃，如炉子处于高温状况，可采取抽真空措施。
9.3.3.3 来水后，要对炉子冷却系统进行检查确认正常后，按停电后的处理措施升温烧结。 9.3.4 突然停电
立即关闭配气盘上氢气主阀门将炉子电源开关转到“0”位，来电后启动前级泵，合上可控硅柜上电源开关，并根据停电时的烧结状态采取相应措施。
a) 烧结处于脱蜡阶段，停电超过15分钟或炉温降至310℃以下，从开始抽真空检漏重新开始烧结周期。炉温下降不低于310℃或停电少于五分钟，打开氢气主阀门，Ramp调至低于炉温2℃重新送电。继续脱腊过程。
b) 烧结处于Torvac至1350℃停电，应将“保温时间1”和Torvac周期数调至“0”，Ramp调至低于炉温2℃，PC转“真空泵一开始”位置，重新开始烧结过程。
c） 烧结处于最终烧结温度阶段，来电后，炉温低于1350℃，按b处理措施进行，高于1350℃，可将Ramp温度调至低于炉温2℃送电。“保温时间2”应根据停电时最终温度已保温的时间来调定：停电前已保温时间不大于20分钟，“保温时间2”为全部保温时间；停电前已保温（20～40）分钟，“保温时间2”为55分钟；停电前已保温（41～54）分钟，“保温时间2”为40分钟。 9.4 紧急停炉
9.4.1升温过程中，真空系统突然泄露，须立即断开电源，打开Ar气紧急阀，充Ar至正压 （10～30）mbar。
9.4.2真空泵、电机发生故障，须立即关闭主真空阀门，切断电源，接通Ar阀，通知机电 人员检修。
9.4.3炉子温控系统失灵，须切断电源，通知电气维修人员。 9.4.4突然停水，须切断电源，并报告有关部门，接上备用水源。
10 烧结工序生产操作规范（人机界面式DMK240真空烧结炉）
10.1 开炉前的准备
10.1.1烧结制度和曲线的选择
10.1.2认真审查烧结制度和工艺参数。
10.1.3通过人际界面（简称NT）输入所执行的烧结曲线号和T1、T2参数及最终烧结温度值。 10.1.4键入密码，通过≤曲线特性≥审查所选用的曲线与≤曲线原形≥是否相符。 10.1.5通过≤参数查阅≥检查所输入的参数是否正确。
10.1.6检查温控器ES—100P上的曲线是否与所选用的曲线相符。 10.2 开炉操作
10.2.1前级真空泵的开启
10.2.1.1将前级泵上的进气阀打开，使泵内压力与外界压力相均衡。
10.2.1.2启动前级泵按钮，待前级泵投入正常运行时，手方可脱离操作按钮。 10.2.1.3关闭前级泵的进气阀。
10.2.1.4前级泵开启时，有任何异常均应停止前级泵运行。 10.2.2运行前状态测试
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10.2.2.1将NT进入操作界面进行状态≤测试≥。
10.2.2.2测试不合格的项目将会在人际界面上得到提示。 10.2.2.3待全部状态合格后，方可进入下一步操作。 10.2.3抽真空
10.2.3.1前级泵开启后，待管道<10mbar指示灯亮时，方可开启真空阀。 10.2.3.2将罗茨泵投入≤准备运行≥。
10.2.3.3炉内压力达到-980mbar时，罗茨泵自动投入运行。 10.2.4真空检漏
10.2.4.1将NT进入操作界面进行≤真空≥操作。
10.2.4.2将PEG阀打开，待炉压≤1mbar时，关闭PEG阀。
10.2.4.3待炉内压力在0.2mbar以下时，继续抽真空20分钟以后，方可进入检漏阶段。 10.2.4.4将NT进入操作界面进行≤检漏≥操作，此时炉压在三分钟内仍应≤0.2mbar或 12分钟内≤0.65mbar。
10.2.4.5将PEG阀打开，在30秒钟内炉压应≤6mbar。真空检漏合格，指示灯亮。 10.2.5脱腊操作
10.2.5.1将NT进入操作界面进行≤脱腊≥操作。 10.2.5.2手动打开N2主阀。
10.2.5.3当N2充至+30mbar时，自动进入脱腊状态，此时关闭N2主阀，打开氢气主阀。 10.2.5.4检查点火器工作是否正常。 10.2.5.5检查排气阀是否正常。 10.2.5.6合上可控硅电源，并送电。 10.2.5.7将温控器投入运行。 10.2.6 TORVAC处理
10.2.6.1将NT进入≤全曲线≥显示界面，检查温度曲线、压力曲线是否正常。 10.2.6.2通过压力曲线检查TORVAC次数是否正常。
10.2.6.3在TORVAC阶段，TORVAC的H2阀应打开，脱腊H2阀应自行关闭。 10.2.7预烧阶段
10.2.7.1TORVAC结束后，自动进入预烧阶段。 10.2.7.2检查真空阀是否正常。
10.2.7.3将NT进入≤全曲线≥显示界面。
10.2.7.4检查1350℃炉温执行情况，时间应为30分钟。
10.2.7.5此时若出现掉电等情况，应将T1和TORVAC次数设置到“0”，将温升曲线直接进 入到第13步执行。 10.2.8真空烧结
10.2.8.11350℃保温结束后，将会出现“唤人信号”。此时将NT进入≤充氩≥操作界面。 10.2.8.2氩气充入到-960mbar时，40mbar氩气灯亮。 10.2.8.3将NT进入≤烧结≥操作界面。
10.2.8.4将NT进入≤高温曲线（部分曲线即1350℃以后的温度曲线）≥显示界面，通过曲 线上的标度了解烧结时间的长短。
10.2.8.5此时若出现高温掉电，应将烧结曲线进入第15步运行，并重新设定烧结时间。没 进入终温烧结掉电，不需重新设定。进入终温烧结后的掉电，按DMK240真空烧结突然停电 的处理重新设定烧结时间。 10.2.9冷却处理
10.2.9.1烧结阶段结束，将会出现“唤人信号”，此时，工艺曲线一切正常时，将NT进入 ≤冷却≥操作界面。
10.2.9.2将氩气主阀打开，20分钟自然冷却后，将会自动进入充Ar<至–20mbar冷却。
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10.3 ≤新开机≥与≤原继续≥模式的选择 10.3.1≤新开机≥模式
10.3.1.1每次新装入炉料开炉前，均应在≤新开机≥模式下进入NT的操作界面。 10.3.1.2进行有关温度曲线与参数的选定。 10.3.2≤原继续≥模式
10.3.2.1在烧结过程中，因断电或其它原因造成程序中断时，可以在≤原继续≥模式下进 入NT的操作界面。
10.3.2.2在中断时间不超过24小时且设备上没有重大变动，可视情况不必重新真空检漏， 计算机会保持原检漏状态不变。
10.3.2.3在≤原继续≥下，应重新审定和输入T1、T2、TORVAC次数，烧结时间是否延长等 参数或内容。
10.3.3最终烧结温度的重新调定
当曲线进入≤烧结≥时，若临时需修改最终烧结温度值，需进入≤烧结温度重新设定≥操作界面。
10.3.3.1输入新的温度值，经≤确认≥后，新的温度值送入温度控制器。 10.3.3.2将温控器投入运行。
10.3.3.3若出现掉电的情况，应迅速将电送上。 10.4 NT的操作要领
10.4.1用手指触摸显示屏进行各种操作，切忌用力。 10.4.2各种功能键触摸时间应>0.3秒。 10.4.3不可用异物触击触摸显示屏。
10.4.4人际界面的操作界面只能用于各种操作，不可利用操纵界面作为观察界面。 10.4.5脱蜡阶段的抽真空(450～1350)℃的操作:点击“操作”,进入“真空”位关萝茨 泵，开主真空阀，其余参数不必重新调定，这有别于原DMK240真空烧结炉。 10.4.６所有数据的输入或修改，必须确认后方有效，否则不能输入温控器。 10.5 故障报警及各种提示
10.5.1计算机对整个控制系统进行监护，出现各种异常，将会在界面上得到提示。 10.5.2对于出现过压、断水、断电等情况，将会 出现报警声。
10.5.3依据界面上的各种提示，有关异常情况经处理完结后，方可进行下一步操作。 10.6 重大工艺参数的修改及新工艺曲线的制定
10.6.1对于各温度曲线的拐点值，炉内压力的设定值TORVAC温度值的修改需由有关工艺人员执行。 10.6.2由工艺人员打开密码锁，在≤新定义≥界面下进入设定界面。 10.6.3重新输入所需修改的参数值，经≤确认≥后方能生效。 10.6.4依据操作界面上的提示，重新设计新的工艺曲线。 10.7 保密工作
各条温升曲线均从山特维克引进，系工厂的资产。人际界面上附设有各条曲线的原形，只有通过密码方能进入。每个职工均应具备良好的保密意识，不可将工艺曲线外泄。
11 烧结工序生产操作规范（COD733RL过压烧结炉）
11.1 操作前准备
11.1.1 操作者操作前穿戴好工作鞋、帽、服、手套。
11.1.2 检查石墨板是否完好、无裂纹，并检查叉车挂钩是否挂好石墨板。 11.1.3 检查待备料的生产指令卡，核对牌号、型号与实物是否一致。 11.1.4 将烧结温度，烧结工艺相同的物料集中于料架旁。 11.1.5 按工艺要求刻好12片控制块，置于料架旁。
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