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NanoScopeAnalysis简易使用说明书

来源:用户分享 时间:2025/5/18 12:00:59 本文由loading 分享 下载这篇文档手机版
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NanoScope Analysis 简易使用方法 一:图像处理功能

1、 flatten,用于平滑图像,使

。若有明显比较高的凸起,flatten会

用时选择一阶或者二阶方式,单击

有黑边,需在图像中选中那块区域以后(依次全部选中)再点

。最终得到效果。

2、 crop and split,用于截取原图中的一部分,使用时选中一定区域

,单击。

3、 Erase,用于擦掉扫描时意外出现的跳线,例如。处理时,

先用中的放大功能把有跳线的区域放大,

,再点,然后在图像中单击跳线的位

置,此时会出现虚线,

线。

二:图像分析功能

,最后单击,就可擦掉跳

1、 section,用于分析高度,使用时在图像上拉一条线,,

在右边会出现section的分析曲线

蓝线拉到要测高度差的两个点上,在

,把两条

上可以读出水平距离以及高度

差。

2、 roughness, 用于分析粗糙度,使用时右边results中的

image Ra/Rq是粗糙度,如果想看

图片局部的粗糙度,则可在左边大图中直接选中一块区域,

单击,然后通过右边的值得到粗糙度。

Ra/Rq

3、 step用于分析台阶高度,在右边曲线两边拉出两对直线,调到同一平面

上,单击调节水平,单击

,然后移动直线,

从曲线下方的可以直接得到台阶的高度。

4、 depth功能类似于step。用于计算沟槽的深度。

5、 3D image ,用于转换得到三维图像。右边的inputs选项中,可以修改

背景颜色background color为白色或者黑色,z轴和xy轴的比例zaxis aspect

ratio,图像图像放大调节zoom,label type可选择显示坐标轴,拉动左边图

三:导出数据

,可进行旋转。导出图片单击export。

若想导出图像,点,在右边选择导出的时候要显示的项目

,(四个show的选项)把它改成yes,

然后点。

若要导出高度分析的数据,则右击section的那个曲线图,选择export,可以选择导出TXT格式的数据也可以选择导出图片格式。

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