薄膜成分表征中多数方法都是用外部光子或者电子将原子激发到激发态，原子通过发射光子或者电子回到基态，通过对发射电子（光子）的能量探测就可以了解原子内部的能级结构从而确定样品的组分。 2.2 薄膜成分的研究手段
2.2.1 X射线荧光光谱（X射线激发，发射X射线）
高能X射线照射物质使原子的内层电子被激发，原子内层外侧的电子就会跃迁至空位上，并释放特征X射线。
2.2.2 俄歇电子能谱（电子束激发，发射电子）
俄歇电子能谱采用电子输出，纵向分辨率可以达到纳米量级，这是由电子逃逸深度决定的。故可以探测来自样品表面的杂质。 2.2.3 X射线光电子谱（X射线激发，发射电子） 2.2.4 电子探针分析（电子束激发，发射X射线） 2.2.5 卢瑟福背散射（离子与原子核的作用）
散射离子的动能与散射角和原子核的质量有关，通过计算就可以确定样品中散射的原子核的质量M，从而确定组分。
2.2.6 二次离子质谱（溅射并离子化样品表面原子）
入射离子束溅射出样品中离子的同时，也可以作为溅射离子束进行深层分析。将溅射粒子送进质谱仪就可以分析样品成分。 2.2.7 X射线衍射分析（只对晶体）
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