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5.1.1前期准备
A、清洗缸体:新线开缸前须用3-5% NaOH溶液泡缸12小时,用清水清洗干净后,再
用3-5% H2SO4泡缸12小时,再用清水冲洗,至少2次,药水槽再用纯水清洗一次备用。旧线视缸体清洁度,可考虑不用酸碱泡,但缸体须用清水洗净,药水缸须用纯水清洗;
B、测量:测量缸内壁长、宽、高,计算出缸体积,计算方法: V 体= 长×宽×高(药水液位高度); C、检查生产辅料(比如,H2SO4是否浑浊等)。 5.1.2开缸
5.1.2.1整孔除油缸:
A、加入DI水至2/3体积; B、加入整孔剂DS-122(10%); C、补充DI水至液位; D、打开加热,开启过滤机 5.1.2.2微蚀缸:
A、加入水至2/3体积,开启打气;
B、加入硫酸4%(或硫酸8%,适合硫酸双氧水系列产品); C、冷却后加入过硫酸钠80g/L; D、加水至液位,搅拌。 5.1.2.3酸浸缸:
A、加入DI水至2/3体积; B、加入2%(V/V)H2SO4; C、加入DI水至液位,搅拌均匀。 5.1.2.4预浸缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、加入预浸剂DS-133 220g/L(或DS-133 220g/L,AR盐酸5%,适合DS-133体
系);
C、加入DI水至液位,搅溶后开启过滤泵。 5.1.2.5活化缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、加入预浸盐DS-133 220g/L,AR盐酸5%。 C、加入DI水至液位,搅溶后开启过滤泵; D、加入活化剂DS-140 2%; E、打开加热器循环。
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5.1.2.6加速缸:
A、加入DI水至2/3体积; B、加DS-155 10%; C、加入DI水至液位; D、打开过滤泵。 5.1.2.7沉铜缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、开启打气,加入沉铜液DS-166M 5%; C、缓慢加入DS-166A 7%; D、缓慢加入DS-166B 7%; E、补充DI水至液位,开启过滤。 5.2工艺控制 5.2.1整孔除油 A、工艺参数
a、温度 60-70℃ b、时间 5-8min c、过滤 连续过滤 d、摇摆 连续 B、控制
a、碱度控制在0.09-0.15N;
b、每生产100m2板补加1-1.5L DS-122; c、每班分析一次,依化验结果调整维护。 C、更换
a、每升工作液处理30-35m2板或铜含量大于1g/L时换缸; b、每次全部排净旧液,洗净缸体后,重新开缸。 5.2.2微蚀 A、工艺参数
a、温度 25-35℃ b、时间 1-2min
c、浓度 Na2S2O8 60-100g/L H2SO4 3-5% d、过滤 连续过滤
f、打气 过硫酸钠体系开打气,双氧水体系无须打气。 B、控制
a、每生产100m2添加Na2S2O8 5KG,硫酸2L;
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b、每班分析一次,微蚀速率控制在0.6-1.0um/mm; C、更换
a、铜含量大于25g/L时更换;
b、更换时保管1/6左右旧槽液,再加入1/2体积纯水,然后加入4%硫酸及
80g/L Na2S2O8,用纯水补充至液位。
5.2.3酸浸缸 A、工艺参数
a、温度 室温(20-30℃) b、时间 1-3min
c、摇摆 连续 B、控制
a、H2SO4浓度控制在1-3%;
b、每班分析一次,按分析结果补加。 C、更换
与微蚀缸同时更换。 5.2.4预浸 A、工艺参数
a、温度 室温(18-30℃) b、时间 0.5-2min c、过滤 连续过滤 d、摇摆 连续。 B、控制
a、比重控制在1.116-1.142SG,每添加165g/L DS-133可升高比重0.01SG(或
补加165g/L DS-133可升高比重0.01SG,8.3ml/L盐酸可提高酸度0.1N,此适合DS-133体系);
b、每生产100m2板补加2.5KG DS-133、0.5L盐酸。 C、更换
a、每升槽液生产30m2时更换; b、或溶液转变成蓝色或绿色时更换。 5.2.5活化 A、工艺参数
a、温度 35-44℃ b、时间 5-8min c、搅拌 摇摆或过滤循环
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