洁净室的测试及验收标准 控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段，还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议（16）中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。 在洁净室内，按其用途的不同应控制下列参数： 1、测试状态的确定 2、空气中粒子的浓度
3、气流的风速和单向性（对单向气流而言） 4、风量和换气次数 5、最终过滤器的整体性 6、空气温度和湿度 7、洁净室的密闭性 8、洁净室表面的洁净度
测试状态的确定：根据设计要求，一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测，一般不做动态检测，如需动态检测，需要制定或参照其他标准。
空气粒子浓度的检测 洁净度级别 洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度（每1m3空气中的粒子数）。
空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定，根据该标准的规定，洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。
在确定实际洁净室的洁净度级别时，应对粒径≥阀值的粒子进行统计，下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。
所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度
粒子最大允许浓度Cn颗m3，粒径≥下列值，微米 ISON级 0.1 ISO 1级 ISO 2级 ISO 3级 ISO 4级 ISO 5级 ISO 6级 ISO 7级 ISO 8级 ISO 9级 10 100 1000 10000 100000 1000000 - - - 0.2 2 24 237 2370 23700 237000 0.3 - 10 102 1020 10200 102000 0.5 - 4 35 352 3520 35200 352000 3520000 35200000 1.0 - - 8 83 832 8320 83200 832000 8320000 5.0 - - - - 29 293 2930 29300 293000 备注：浓度值Cn应四舍五入，小数点后保留三位，在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的，求不出精度很高的浓度。 洁净度级别表示实例 ISO 4级；静态；给定粒径0.5微米（352粒子/m3）。
ISO 5级；静态；给定粒径0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。 因此，在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时，不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。
测定洁净度级别的方法 在检测洁净室的洁净度级别时，应测定洁净室内1点或数点的悬浮粒子浓度（即取样点的粒子浓度）。
因此必须满足下列要求
1）确认洁净室的状态与给定的相符；
2）确定给定粒径，洁净室取样点的数量和位置； 3）确定每一取样点的取样数量；
4）确定对每一种给定粒径在每1取样点上，每1次取样的取样量和取样时间； 5）取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计；
6）将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内（适于采用无计算机软件的粒子计数器的场合下）；
7）整理取得的数据； 8）对结果进行分析；
9）整理方案确定级别应符合上表要求。
气流的检测 在洁净室中的气流：
气流风速（通常是控制单向气流的风速）
气流均匀性（单向气流风速稳定性）并目视检查气流。
空气（单向气流）的风速和风量 空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。 测试点的数量应大于被测表面面积的平方根，但不得小于3，应在每一个设定的网格中进行测量，测量点应均匀地分布在平面上。
应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时，应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。
每1点的测量时间不得少于10秒。并且要确定平均值，最大和最小值。
气流的均匀性 根据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据，评价单向气流的均匀性，建议该平面应距离过滤器表面（风口）300毫米以上。
平面上各点处的风速相差不得超过20%-30%。
检验过滤器的整体性 最终过滤器（HEPA，ULPA过滤器）是洁净室的重要部分。这些过滤器安设在洁净室的吊顶和墙上，装在设备和风管内。应进行泄漏检查，以控制过滤器的整体性，过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏，会超过ГOCTP5125-99。
制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验，附过滤器检测报告，现场不做检漏。
温度的检测 在洁净室内采用两种方法控制温度： ? 一般控制 ? 特殊控制
（一般控制）在通风空调系统投产-调试时，以及在洁净室检测的各个阶段和使用阶段均要进行温度的一般控制。
规定工作席工作区高度处的温度，以及必要时，其他工作点的温度都要加以控制。 在1小时或更多一些的时间内应周期性的连续测试6分钟。
相对湿度的控制 待通风空调系统工作稳定后，相对湿度的控制可与温度的测量同时进行。 至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点进行相对湿度的测量，为了使传感器持续稳定，测量的持续时间不得少于6分钟。
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