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新真空计校对方法

来源:用户分享 时间:2025/9/2 11:51:13 本文由loading 分享 下载这篇文档手机版
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一、 校对真空计

1、热偶规ZJ—54D校零:

要使热偶规工作在正常的状态下,就要对两个通道(前级、复合)进行初始化校零。两个通道的校零方法相同。比如首先对复合通道校零:

a、用短路线将-INA+两孔短路(图右上部)

将万用表拨到直流电压200mv档。黑表笔按GND(图中上部)。红表笔接TA1(图三中部)。调整VT1(或面板上“大气—右”孔内电位器),使表的读数为-10mv。

b 、同理前级通道校零。短路-INB+,用表测GND—TB1的电压,调整VT3(或面板上“大气—左”孔内电位器),使表的读数为-10mv即可。

2、校满

热偶的最大输出为10mv,显示为1.0-1~1.1-1。这时必须用校对仪对真空计两个热偶通道的满度进行精确校检。

a、用专用导线将校对仪与真空计复合计插头相联,用万用表直流电压200mv档,将表笔按正负方向接到-INA+测试点上。旋动校对仪热偶规侧的两个电位器,使万用表指示10mv。这时调整VT2,使复合显示窗口为1.1-1。

b、同理用导线联到前级通道的插头上,用表笔测-INB+测试点,调整校对仪电位器,使之达到10mv。调整VT4,使前级窗口显示1.1-1即可。

3、 校对电离规管(ZJ—10)

a、①将校对仪热偶规专用导线联接到校对仪与真空计复合计插座上。②将电离规导线联到真空计电离规插座上,并插入未切口的电离规管。③将收集线将校对仪与真空计相联,并将真空计上自动/手动开关拨到手动位置。

b、开启校对仪和真空计电源开关,预热10分钟。

c、用万用表直流电压200mv档,把表笔按照其正负级联接到校对仪电离规侧的接线柱上调整设定电位器,使表的读数为120mv+10mv即可。将波段开关拨到40MΩ档,这时真空计复合窗口应显示1.1-1,(真空计上的自动/手动开关在手动位置,复合计未转换到电离规上)。将自动/手动开关拨到自动位置,复合窗口应显示4.0-4+0.1-4,同时电离规管亮。如果不是这个数值,调整VT8(附图中部),使之达到4.0-4即可。

d、再拨动波段开关到0.4MΩ档,应显示4.0-1+0.1-1。拨到4MΩ档应显示4.0-2+0.1-2或4.0-3+0.1-3。如果相差太远,这时关断校对仪电源(真空计不关)。用万用表200mv档测GND—T2之间的电压,调整VT7(图中上部),使其达到0mv即可。然后再回到前面的方法,打开校对仪,按c条方法再次校对。

4、校对射级电流

在上节第c条的条件下,(电离规管亮)用万用表200mv档,将表笔测R100的两端电压(图左下)。①将波段开关拨到0.4MΩ档,调VT10 ,使表读数为5mv。②将波段开关拨到40MΩ档位上,调动

VT9,使表读数为50mv即可。

5、校对热偶规的灯丝电流

将要校对的热偶规插到某一个真空机组上,且真空机组有×10-2

以上的高真空,再用真空计的前级通道与之相联,开启真空计预热10分钟,同时启动机组,使之达到×10-2以上高真空。调整VT6或面板上加热电源—左的电位器,使前级窗口显示1.1-1即可。然后将热偶规做上前级的标记。以后该热偶规只能与本真空计前级配用,否则应重新匹配。同理,换一支热偶规,放到真空机组上,与真空计复合通道相联,调整VT5或面板上加热电源—右上的电位器,使复合窗口显示1.1-1即可。并做上标记,该热偶规管只能与本真空计复合计通道配用。

到此为止,用真空校对仪校对真空计的程序全部完成,在调试过程中如有与上面各条不符的情况,大多为真空计存在故障,请参考真空计说明书,及我厂编发的维修指南中真空计部分,加以处理,如不能解决,请与我公司联系。

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