19.求室温下掺锑的n型硅,使EF=(EC+ED)/2时锑的浓度。已知锑的电离能为0.039eV。
20.制造晶体管一般是在高杂质浓度的n型衬底上外延一层n型外延层,再在外延层中扩散
硼、磷而成的。
(1)设n型硅单晶衬底是掺锑的,锑的电离能为0.039eV,300K时的EF位于导带下面0.026eV
处,计算锑的浓度和导带中电子浓度。
(2)设n型外延层杂质均匀分布,杂质浓度为4.6?1015cm-3,计算300K时EF的位置及电子
和空穴浓度。
(3)在外延层中扩散硼后,硼的浓度分布随样品深度变化。设扩散层某一深度处硼浓度为
5.2?1015cm-3,计算300K时EF的位置及电子和空穴浓度。
(4)如温度升到500K,计算③中电子和空穴的浓度(本征载流子浓度数值查图3-7)。
21.试计算掺磷的硅、锗在室温下开始发生弱简并时的杂质浓度为多少?
22.利用上题结果,计算掺磷的硅、锗的室温下开始发生弱简并时有多少施主发生电离?导带中电子浓度为多少?
第四章习题及答案
1.300K时,Ge的本征电阻率为47?cm,如电子和空穴迁移率分别为3900cm2/(V.S)和1900cm2/(V.S)。试求Ge的载流子浓度。
11?知
nqun?pqupniq(un?up)解:在本征情况下,n?p?ni,由??1/??2.试计算本征Si在室温时的电导率,设电子和空穴迁移率分别为1350cm/(V.S)和500cm2/(V.S)。当掺入百万分之一的As后,设杂质全部电离,试计算其电导率。比本征Si的电导率增大了多少倍?
2
解:300K时,un?1350cm2/(V?S),up?500cm2/(V?S),查表3-2或图3-7可知,室温下Si的本征载流子浓度约为ni?1.0?1010cm?3。
本征情况下,
11金钢石结构一个原胞内的等效原子个数为8??6??4?8个,查看附录B知Si的晶格
82常数为0.543102nm,则其原子密度为
822?3?5?10cm。 ?73(0.543102?10)掺入百万分之一的As,杂质的浓度为ND?5?1022?1?5?1016cm?3,杂质全部电离
1000000后,ND??ni,这种情况下,查图4-14(a)可知其多子的迁移率为800 cm2/(V.S)
?'6.4??2.1?106倍 比本征情况下增大了?6?3?103.电阻率为10?.m的p型Si样品,试计算室温时多数载流子和少数载流子浓度。
解:查表4-15(b)可知,室温下,10?.m的p型Si样品的掺杂浓度NA约为1.5?1015cm?3,查表3-2或图3-7可知,室温下Si的本征载流子浓度约为ni?1.0?1010cm?3,NA??ni
4. 0.1kg的Ge单晶,掺有3.2?10-9kg的Sb,设杂质全部电离,试求该材料的电阻率??n=0.38m2/(V.S),Ge的单晶密度为5.32g/cm3,Sb原子量为121.8?。
0.1?1000?18.8cm3;
5.32解:该Ge单晶的体积为:V?3.2?10?9?1000?6.025?1023/18.8?8.42?1014cm3 Sb掺杂的浓度为:ND?121.8查图3-7可知,室温下Ge的本征载流子浓度ni?2?1013cm?3,属于过渡区 5.500g的Si单晶,掺有4.5?10-5g的B,设杂质全部电离,试求该材料的电阻率??p=500cm2/(V.S),硅单晶密度为2.33g/cm3,B原子量为10.8?。
解:该Si单晶的体积为:V?500?214.6cm3; 2.334.5?10?5?6.025?1023/214.6?1.17?1016cm3 B掺杂的浓度为:NA?10.8查表3-2或图3-7可知,室温下Si的本征载流子浓度约为ni?1.0?1010cm?3。 因为NA??ni,属于强电离区,p?NA?1.12?1016cm?3
6.设电子迁移率0.1m2/(V?S),Si的电导有效质量mc=0.26m0,加以强度为104V/m的电场,试求平均自由时间和平均自由程。
解:由?n?q?n知平均自由时间为 mc由于电子做热运动,则其平均漂移速度为
平均自由程为
7.长为2cm的具有矩形截面的Ge样品,截面线度分别为1mm和2mm,掺有1022m-3受主,试求室温时样品的电导率和电阻。再掺入5?1022m-3施主后,求室温时样品的电导率和电阻。
解:NA?1.0?1022m?3?1.0?1016cm?3,查图4-14(b)可知,这个掺杂浓度下,Ge的迁移率up为1500 cm2/(V.S),又查图3-7可知,室温下Ge的本征载流子浓度ni?2?1013cm?3,
NA??ni,属强电离区,所以电导率为
电阻为
掺入5?1022m-3施主后
总的杂质总和Ni?ND?NA?6.0?1016cm?3,查图4-14(b)可知,这个浓度下,Ge的迁移率un为3000 cm2/(V.S),
电阻为
8.截面积为0.001cm2圆柱形纯Si样品,长1mm,接于10V的电源上,室温下希望通过0.1A的电流,问:
①样品的电阻是多少?
②样品的电阻率应是多少?
③应该掺入浓度为多少的施主?
解:①样品电阻为R?V10??100? I0.1②样品电阻率为??Rs100?0.001??1??cm l0.1③查表4-15(b)知,室温下,电阻率1??cm的n型Si掺杂的浓度应该为5?1015cm?3。
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