真空泵培训材料（一） - 图文 

真空泵培训材料（一）

合肥工业大学机械与汽车工程学院

真空与过程装备教研室

王君2006年11月

真空泵培训基本内容

1、真空泵的基础知识；

2、液环式真空泵；3、旋片式真空泵；4、滑阀式真空泵；5、罗茨式真空泵；6、分子泵；7、无油干式真空泵；8、喷射式真空泵；9、气体捕集真空泵。

本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相关标准、安装、使用及维护的基本知识。

合肥工业大学真空与过程装备教研室合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识

1、几个基本问题1.1 定义

真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置。解释：?真空泵的工作原理：机械、物理、化学。?真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。?真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。?真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。

粗低真空

?食品行业?化工行业?冷冻干燥?轻工行业?制药行业

?导电(真空放电灯具)

高真空

?冶炼

?真空热处理、真空焊接?集成电路、半导体制造?各种镀膜工艺?各种表面加工工艺?化学研究?离子注入

?隔离作用（绝热）

超高真空

?空间模拟?材料科学分析?物理现象研究?表面分析

?高纯材料制备(如：MBE)

合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识

1、几个基本问题

1.2 真空系统的基本组成

981真空室2高真空泵（主泵）137预抽泵83a前级泵4高真空阀门5低真空阀门456前级管道77放气阀82低真空计9高真空计63a3合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识

1、几个基本问题1.3 抽速特性曲线

1234速抽10-10

入口压力

10-10--1

-3