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真空泵培训材料(一) - 图文 

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合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识

4、机械真空泵性能参量

几点说明:??实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是真空泵选配的最重要参

量;??真空泵的性能测试必须严格按照相关国家标准规定的项目和测试条

件来执行;??性能测试标准由国标、部标、企业标准几个等级;??真空泵在不同使用条件下,强调的性能参数是不同的;??对于不同类型真空泵,所需测试的项目差别很大;??真空泵性能和真空系统性能是两个概念。

合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识

5、机械真空泵规格及型号

真空泵型号组成:

真空泵12级数,阿拉伯数字表示,不分级或单级者省略。

真空泵名称,构成名称关键字的汉语拼音第一个或前两个字母。

真空泵特征,用关键字汉语拼音的第一(或第二)个大写字母表示。

基本型号

3

4

5

6

真空泵设计序号,用A、B、C、D…顺序表示。代表真空泵规格或主参数,用阿拉伯数字表示。真空泵使用特点(多指被抽气体性质)。如”N”表示可凝性气

体,”F”表示腐蚀性气体。

辅助型号

参见标准:JB/T 7673-95《真空设备型号编制方法》

合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识

5、机械真空泵规格及型号

机械真空泵型号示例:

W

2

XX

3LGLD

351563160100BA

往复泵,抽速35L/s,二次改型;二级旋片泵,15L/s,一次改型;单级多旋片真空泵,63m3/h;三级溅射离子泵,160L/s;锆铝吸气剂泵,进气口100mm;变容式机械泵的抽速分档:0.5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、10000、20000、40000。

参见标准:JB/T 7637-95《真空泵型号组成》

合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识

6、真空泵的使用范围超高真空<10-5Pa高真空10-5~10-1Pa中真空10-1~102Pa膜片泵液环泵旋片泵滑阀泵罗茨泵爪形泵涡旋泵液体喷射泵涡轮分子泵扩散泵升华泵溅射离子泵低温泵扩散喷射泵吸附泵蒸汽喷射泵低真空102~105Pa活塞泵10-9

10-510-110+210+5

合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识

7、几个思考题:

??????????

何谓“真空泵”、“机械真空泵”?真空泵分类的基本方法及结果如何?

真空泵有哪几个典型参数,选泵时最重要的有哪两个?真空泵型号是如何构成的?

各种类型真空泵的工作压力范围如何?

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