Roll-to-Roll磁控溅射镀膜系统设计论文

Roll-to-Roll磁控溅射系统设计

参考文献

[1] 梁勇 真空卷绕镀膜技术及设备的现状与发展 2005

[2] 杨乃恒．幕墙玻璃真空镀膜技术[M]．沈阳：东北大学出版社，1994．11 [3] 达道安．真空设计手册（第3版）[M]．北京：国防工业出版社，2004．7． [4] 成大先．机械设计手册（第5版）：第3卷[M]．北京：化学工业出版社，2008．1． [5] 朱家诚. 机械设计课程设计(第1版)：合肥工业大学出版社 2005. [6] 于萍，张雨丝．低辐射镀膜玻璃的生产与发展[J] ．玻璃，2011，（4）：30-34． [7] 濮良贵，纪名刚．机械设计（第八版）[M]．北京：高等教育出版社，2005．5． [8] 孙 清,魏海波，池世春.海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制[J].2006 09.

[9] 宋文龙，邓建新，赵金龙.磁控溅射附着性能的影响因素[A].中国期刊论文． [10] 李芬，朱颖，李刘合，等．磁控溅射技术及其发展[J]．真空电子技术，2011,（3）：49-54． [11] Heister U，Krempel-Hesse J，Szczyrbowski J，et al．TwinMag Ⅱ:Impro-ving an Advanced Sputtering Tool[J]．Vacuum，2000，59：424-430． [12] Belkind，Freilich A，Song G，et al．Mid-Frequency Reactive Sputteri-ng of Dielectrics：Al2O3[J]．Surface and Coatings Technology，2003,174-175:88-93． [13] 赵印中，王洁冰，邱家稳，等．用交流孪生靶磁控反应溅射发制备ITO薄膜[J]．真空与低温，2003,9（1）：13-16．

[14] 李芮．磁控溅射技术[J]．印染，2008,34（5）：6-6．

[15] 张以忱．真空镀膜技术[M]．北京：冶金工业出版社，2009．9．． [16] Yu Senjiang，Zhang Yongju，Cai Pinggen，et al．Growth mechanism of ordered stress induced patterns in Al films deposited on silicone oil s-urfaces[J]．Physics Letter A，2003,318:457-462． [17] Zhang Yang，He Xiuli，Gao Xiaoguang，et al．Growth of Nano-Particu-lated SnO2 Film by Rheotaxial Growth & Thermal Oxidation and Its Gas Sen-sing Properties[J]．Journal of Vacuum Science and Technology，2007,27（2）：118-122． [18]Mechanical Flexibility of ZnSnO/Ag/ZnSnO Films Grown by Roll-to-Roll Sputtering for Flexible Organic Photovoltaics.

[19] 核工业西南物理研究院．大面积孪生磁控溅射源[P]．中国：CN201512576．U，2010．6．23．

[20] 真空镀膜机卷绕系统空间轴系平行度的研究.上海大学硕士学位论文.

29 / 29