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瓦利安-离子注入机工作原理01 - 图文

来源:用户分享 时间:2025/5/18 14:11:43 本文由loading 分享 下载这篇文档手机版
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1、90度离子束分析磁场

失去一个电子的离子叫做单价电荷,失去两个电子的离子叫双价电荷。当它们被同一吸极加速时,双价电荷离子将获得两倍于单价电荷的能量。

一个离子的原子重量是原子核里中子与质子重量的总和。对一个给定的元素,其原子内的质子数保持恒定,仅中子数可能变化。 进入90度磁分析仪中的任何离子的运动路径都将被磁场力弯曲。较轻的离子比较重的离子弯曲的厉害。总的作用是所有不同的离子将扇出不同的路径。选择恰当的磁场激发电流将会引导待选离子顺利通过判决光圈。判决光圈是一个可调节(大小的)光圈。这样可以避免与待选离子质量接近的离子随离子束通过光圈。较重的离子由于偏转不够而不能通过光圈,较轻的离子由于偏转过多而不能通过光圈。

用来计算磁场激发电流的基本方程是:

I?KmV q式中各个符合的含义如下: I=磁线圈中的激发电流

K=常数。视具体生产线的注入机及具体离子种类而定 m=待选离子的质量 V=吸极加速电压 q=离子的电荷量

2、离子束线控制设备单元

离子束流设备单元会影响离子束均匀度,离子束宽度,以及射向尾端工作站的离子束流强度。在手工操作情况下,操作者应该努力优化离子束均匀度,同时也要对离子束流强度仔细斟酌。通过系统计算从数据上表征均匀度是很重要的,视觉上在屏幕上用曲线显示出来也很有必要。我们可以从屏幕的曲线上观察到哪些区域出现了微笑的均匀度偏差,这可以提醒操作者决定调整那个控制参数区改进离子束流的均匀度。屏幕曲线还可以用来区别离子束宽度不够抑或需要进一步聚焦。

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2.1第二四极磁透镜(Quadrupole 2 Q2)

Q2可以在两个模式下工作,负值模式(minus mode)或正直模式(plus mode)。我们可以根据需要选择相应模式。Minus mode 用来水平方向压缩,同时竖直方向扩展。Plus mode 则相反。通常在初始菜单中给出优化值。初始菜单设计者把Q2的典型值设置为minus mode。但是,这不是绝对的,手工操作时,要根据实际情况选择其中一种模式使离子束良好聚焦。在调整Q2时,建议同时调整Q1达到优化离子束流和离子束宽度的目的。

注意:

2.2第三四极磁透镜(Quadrupole 3 Q3)

Q3仅仅安装在VIISta HCS型大束流注入机上,用来在竖直方向聚焦离子流。通常在初始菜单中Q3被设置一个优化值。Q3可以工作于正直模式或负值模式。Q3典型值是负值模式。手工操作可以选择适当模式,目的是改进离子束流的聚焦效果。

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八、离子束线手动操作/第一个抑制聚焦电透镜(Decel 1 Lens D1 Lens)

1、D1抑制电压

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