COG制程

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文件名称 ◎ 设备机型 HITACHI DECO-7系列 LCM NB ACOG制程参数作业指导书 ◎ 机台耗材厂商 / 宽度 / 厚度机台别 ACF type 机种别程序编号 Doc. No. 制定日期改订日期版次(修订) 页次制定部门 3005734 2006年09月20日 2006年11月30日

Ver.03 6 of 11 LCM NB-INT Silicone Rubber ACF unit Shin-Etsu制 /宽度80mm /厚度0.20 mm ACOG-07 Teflon Sheet Main bond Unit 中兴化成/宽度4mm /厚度0.08 mm AC-8405Z-23 AJ0A2-1A 023 0.1 / 0.1 0.01 / 0.01 0.160 0.3 145 2 80 0.170 0.2 温度压力 295 0.187 295 0.185 305 0.190 80 80 80 100±10 220000 16 AC-8405Z-23 MJ0A1-01 019 0.1 / 0.1 0.01 / 0.01 0.160 0.3 145 2 80 0.170 0.2 温度压力 305 0.187 310 0.185 305 0.190 80 80 80 100±10 220000 16 Cleaner unit ACF贴附 Pre-bond 本压着 M / S roller press Tank 1 / 2 press Add press 压力 Mpa Add press ACF1温度( ℃ ) 时间sec( ±1sec ) 温度(℃) 压力 (±0.01Mpa) 时间( ±0.1sec ) 温度 / 压力（设定值） head A head B head C 上刀头 head D head E head F head A head B head C 下刀头 head D head E head F 实测条件Load cell (N) Silicone 转动长度(um) 压着时间 (sec) 压力 Mpa

Ver.03 7 of 11 LCM NB-INT Silicone Rubber ACF unit Shin-Etsu制 /宽度80mm /厚度0.20 mm ACOG-09 Teflon Sheet Main bond Unit 中兴化成/宽度4mm /厚度0.08 mm AC-8405Z-23 AJ0A2-1A 023 0.1 / 0.1 0.008 / 0.008 0.194 0.3 135 2 80 0.130 0.2 温度压力 300 0.193 305 0.195 305 0.196 80 80 80 100±10 220000 16 AC-8405Z-23 MJ0A1-01 019 0.1 / 0.1 0.008 / 0.008 0.194 0.3 135 2 80 0.130 0.2 温度压力 300 0.193 305 0.195 305 0.196 80 80 80 100±10 220000 16 Cleaner unit ACF贴附 Pre-bond 本压着 M / S roller press Tank 1 / 2 press Add press 压力 Mpa Add press ACF1温度( ℃ ) 时间sec( ±1sec ) 温度(℃) 压力 (±0.01Mpa) 时间( ±0.1sec ) 温度 / 压力（设定值） head A head B head C 上刀头 head D head E head F head A head B head C 下刀头 head D head E head F 实测条件Load cell (N) Silicone 转动长度(um) 压着时间 (sec) 压力 Mpa

Ver.03 8 of 11 LCM NB-INT Silicone Rubber ACF unit Shin-Etsu制 /宽度80mm /厚度0.20 mm ACOG-11 Teflon Sheet Main bond Unit 中兴化成/宽度4mm /厚度0.08 mm AC-8405Z-23 MJ0A1-01 019 0.1 / 0.1 0.01 / 0.01 0.180 0.3 135 2 80 0.150 0.2 温度压力 315 0.188 305 0.198 305 0.190 80 80 80 100±10 220000 16 Cleaner unit ACF贴附 Pre-bond 本压着 M / S roller press Tank 1 / 2 press Add press 压力 Mpa Add press ACF1温度( ℃ ) 时间sec( ±1sec ) 温度(℃) 压力 (±0.01Mpa) 时间( ±0.1sec ) 温度 / 压力（设定值） head A head B head C 上刀头 head D head E head F head A head B head C 下刀头 head D head E head F 实测条件Load cell (N) Silicone 转动长度(um) 压着时间 (sec) 压力 Mpa

Ver.03 9 of 11 LCM NB-INT Silicone Rubber ACF unit Shin-Etsu制 /宽度80mm /厚度0.20 mm ACOG-12 Teflon Sheet Main bond Unit 中兴化成/宽度4mm /厚度0.08 mm AC-8405Z-23 MJ0A1-01 019 0.1 / 0.1 0.01 / 0.01 0.180 0.3 145 2 80 0.150 0.2 温度压力 320 0.199 325 0.192 320 0.202 80 80 80 100±10 220000 16 Cleaner unit ACF贴附 Pre-bond 本压着 M / S roller press Tank 1 / 2 press Add press 压力 Mpa Add press ACF1温度( ℃ ) 时间sec( ±1sec ) 温度(℃) 压力 (±0.01Mpa) 时间( ±0.1sec ) 温度 / 压力（设定值） head A head B head C 上刀头 head D head E head F head A head B head C 下刀头 head D head E head F 实测条件Load cell (N) Silicone 转动长度(um) 压着时间 (sec) 压力 Mpa

Ver.03 10 of 11 LCM NB-INT Silicone Rubber ACF unit Shin-Etsu制 /宽度80mm /厚度0.20 mm ACOG-26 Teflon Sheet Main bond Unit 中兴化成/宽度4mm /厚度0.08 mm AC-8405Z-23 AJ0A2-1A 023 0.1 / 0.1 0.01 / 0.01 0.185 0.3 145 2 80 0.150 0.2 温度压力 310 0.199 305 0.203 305 0.201 80 80 80 100±10 220000 16 Cleaner unit ACF贴附 Pre-bond 本压着 M / S roller press Tank 1 / 2 press Add press 压力 Mpa Add press ACF1温度( ℃ ) 时间sec( ±1sec ) 温度(℃) 压力 (±0.01Mpa) 时间( ±0.1sec ) 温度 / 压力（设定值） head A head B head C 上刀头 head D head E head F head A head B head C 下刀头 head D head E head F 实测条件Load cell (N) Silicone 转动长度(um) 压着时间 (sec) 压力 Mpa

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