不燃气体 第2.3类 8 氯气 有毒气体 第2.1类 9 氢气 易燃气体 第4.3 类遇湿10 三氯氢硅 易燃物品 第2.3 11 二氯二氢硅 有毒气体 第8.1类酸性12 四氯化硅 腐蚀品 第2.2类 13 氯化氢 不燃气体 第8.1类酸性14 盐酸 腐蚀品 中毒、灼伤 Ⅲ 7.5 中毒、灼伤 Ⅲ 7.5 中毒、灼伤 Ⅲ —— 中毒、灼伤 Ⅲ —— 中毒、灼伤 Ⅲ 3 窒息 —— —— 中毒、窒息 Ⅱ 1 — ——— — ——— — ——— — ——— — ——— — ——— — ——— — 附录C ：
多晶硅生产过程中的危险、有害因素（资料性）
C.1危险因素
C.1.1火灾
火灾发生必须具备空气（氧气）、可燃物质、引燃（爆）能量三个条件。当氢气或氢气与氯硅烷混合气或三氯氢硅（二氯二氢硅、一氯三氢硅）泄漏时，遇明火或静电等其他能量引燃容易引起火灾；氢气或氢气与氯硅烷混合气或三氯氢硅（二氯二氢硅、一氯三氢硅）容器管道破裂时遇明火或静电等其他能量引燃容易发生火灾。
C.1.1.1可燃物质
a) 氢气、三氯氢硅、二氯二氢硅、一氯三氢硅、导热油。 b) 生产过程中在某些生产装臵内形成的未彻底水解的浅黄色干燥团状或块状物质，这些物质具有较强的燃烧性，往往在脚踩的情况下即可发生燃烧。
c) 活性炭等、超细硅粉（包括还原过程中产生的超细无定型硅）。
D.1.1.2引燃能量
a)明火或高温物体表面：氢气电加热器、还原炉运行状态、作业场所内部或外部带入的烟火、照明灯具灼热表面，设备、管道、电器表面的过高温度、气焊割明火、机动车排气管喷火、烟囱飞火花等；
b)摩擦冲击：机械轴承发热，钢铁工具、铁桶和容器与地面相互碰撞或与地坪撞击，带钉鞋与地坪撞击等；
c)电器火花：电路开启与切断、短路、过载，线路电位差引起的熔融金属，保险丝熔断、外露的灼热丝等，击穿产生的拉弧等；
d)静电放电：氯硅烷设备、容器、管道静电积累或容器、管道破裂，等；
e)雷电；
f)化学能：自燃（二氯二氢硅、一氯三氢硅），物质混合剧烈放热反应（三氯氢硅、二氯二氢硅），一氯三氢硅水解放热自燃等；
g)日光聚焦。
C.1.1.3增加燃烧危险的因素 a)密闭空间富氧状态； b)火灾时继续通风；
c)盛装易燃易爆液体的压力容器、管道破裂与容器倾复后的流淌和扩散；
d)比空气重的氯硅烷蒸气积聚
e)室内气温高。 C.1.2 爆炸
a) 密闭空间及通风不良处所，易燃气体及粉尘积聚达到爆炸极限，遇到火源瞬间燃烧爆炸。
b) 氢气、氯硅烷或二者混合气大量泄漏，遇到火源瞬间燃烧爆炸。
c）二氯二氢硅泄漏后，遇空气中的水分，即会发生局部放热反应而发生爆炸。
d) 还原炉开炉误操作，导致在有氢气或氢气与氯硅烷化合物与空气共存时，通电形成爆炸。
e)氯化氢合成点火误操作，形成氢气与氯气混合后光照反应，导致爆炸等。
f)容器或管道因超压或超温发生的爆炸。 C.1.3中毒
生产性物质：氯气、氯化氢、氯硅烷、氢氟酸等生产性有毒物质，通过呼吸道、消化道及皮肤侵入人体或眼睛。有的可刺激粘膜（上呼吸道）或视网膜，有的可引起过敏反应或皮炎，有的造成急、慢性中毒
C.1.4灼伤
三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等介质遇水反应，均放出有毒的腐蚀性气体－氯化氢。盐酸、氢氟酸、硝酸、氢氧化钠、氢氧化钾等更是直接腐蚀介质，人体在生产活动中因物料迸溅、泄漏、意外接触等原因，有被这些腐蚀性介质灼伤的可能。
C.1.5窒息
多晶硅生产过程中涉及惰性气体（氮气、氩气）的地方较多。因此，多晶硅生产过程生产过程中，窒息事故也经常发生。在使用、生产上述物质的水电解制氢、多晶硅还原、还原尾气干法回收、四氯化硅氢化、活性炭吸附、四氯化硅综合利用，以及配套建设的动力中心、氯硅烷罐区等场所，均存在中毒窒息的危险。生产过程或装臵中引入氮气作为保护气、臵换时使用氮气、硅芯拉制过程中用氩气作为保护气等，一旦保护措施不到位均可造成窒息事故。
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