改善方法：提高基片的洁净度。二、膜料点膜料点不良也是镀膜产品的一个常见问题，在日企、台企把膜料点称为“斑孔”顾名思义，膜料点就是蒸镀中，大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基片的表面，在基片表面形成点状的突起，有时是个别点，严重时是成片的细点，大颗粒点甚至可以打伤基片表面。各种膜料的蒸发特性是不一样的，特别是熔点温度和蒸发温度有很大差异熔点温度大于蒸发温度的材料，由固态直接气化蒸发，是升华材料；熔点温度小于蒸发温度的材料，由固态先化成液态尔后在转换成气态蒸发，是非升华材料；熔点温度与蒸发温度相当的材料，由固态到气态蒸发，边融化边蒸发。是半升华材料。其中非升华材料最容易产生膜料点，因为液态的膜料继续加热会沸腾，沸腾中膜料中的气泡溢出，飞溅膜料点的可能性加大。有时在材料预熔时就有很大的飞溅。膜料受潮，预熔或蒸镀时水汽逸出，也会造成飞溅产生。下表是几种常用膜料的升华特性材料名称ZnS熔点温度1900蒸发温度1100飞溅可能极小备注SiO2Al2O3ZrO2TiO2Ta2O5MgF2170020202715185018001266160021002700200021001540很小小小大较大大膜料不纯、膜料参杂，即膜料中有了熔点温度、蒸发温度不一致的材料，这也是膜料点产生的原因。改善思路：选用好的膜料、充分预溶、控制速率。改善对策：㈠ 选择杂质少的膜料㈡ 对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料㈢ 膜料在镀前用网筛筛一下㈣ 精心预熔，MgF2务必熔透一次蒸镀所需膜料，而Ta2O5 和TiO2必须彻底熔透。㈤ 用一把电子枪镀制几种膜料时，防治坩埚转动中膜料参杂及挡板掉下 膜料渣造成膜料污染。一旦发现坩埚膜料有污染，应立即更换。㈥ 尽最大可能使蒸发舟、坩埚干净。（勤打扫）。㈦ 选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑。特别是非升华材料，蒸发速率不宜高。㈧ 膜料去潮，将待用膜料用培养皿盛放在真空室干燥注意：有时膜层内有一些细小的点子，有可能不是膜料点，而是灰尘点，处理的方法与膜料点不良是不同的，应严格区分，分别处理。
三、膜色差异
膜色差异有二种（不包含色斑），一种是整罩上、中、下膜色不一致，即分光测试曲线有差异；二是单片膜色不一致。
1．上中下膜色不一致称为整伞（罩）均匀性不好，也称有伞差。主要产生原因是均匀性修正板（补正板）有问题。
2．伞片变形。也是膜色不匀的原因之一，特别是使用了较久的伞片，以往是均匀的，慢慢变得不均匀了，伞片变形就可能是主要原因了。
3．膜料状况的不一致，特别是升华和半升华膜料被打偏，挖坑等也会严重影响整罩和单片的均匀性。特别是有大量手工预熔时，各人的操作手法不一，得到的料况也会不一。改善思路：充分采用修正板的功能。改善对策：
㈠ 调整修正板，尽量考虑高低折射率膜料的平衡兼容，如果有二个蒸发源，可能的条件下，独立使用各自的修正板，避免干扰。
㈡ 条件许可，采用行星夹具。
㈢ 伞片整形，对伞片整形可以先加工一个R基模（选择强度较高的原材料），在基模上对伞片整形。为防止减少伞片变形，在伞片订购时对伞片的厚度、原材料选择要合适。
㈣ 加强伞片管理，特别是摆放时的管理，防止因摆放不当而变形。
㈤ 改善膜料状况，特别是电子枪蒸镀升华、半升华材料时，不能把膜料打塌，挖坑。
㈥ 能够自动预熔的膜料，尽量自动预熔，减少人为因素影响。▲ 修正板对物理膜厚的修正很有效，但对折射率的修正是力不从心的，所以完全靠修正板解决分光均匀性，是很困难的。▲ 如果一个修正板要对应二把电子枪（蒸发源）、以及多种膜料，就会有较大的困难。对于单片膜色不均匀产生的原因：
主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。
另外镜片被镜圈（碟片）边缘部遮挡、镜圈（碟片）脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。改善思路：改善镜片边缘的蒸发角。改善对策：
㈠ 条件许可，用行星夹具；㈡ 选用伞片平坦（R大）的机台；
㈢ 根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。㈣ 如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。
㈤ 改善镜圈（碟片），防止遮挡。
㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡㈦ 清洁镜圈（碟片）㈧ 改善膜料蒸发状况。四、膜脏（也称白压克）
顾名思义，膜层有脏。一般的膜脏发生在膜内或膜外。脏可以包括：灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等。（灰尘点和白雾单列）
改善思路：检讨过程，杜绝脏污染。改善对策：
㈠ 送交洗净或擦拭的镜片不要有过多的不良附着物；㈡ 加强镀前镜片的洗净率或擦净率；
㈢ 改善上伞后待镀镜片的摆放环境，防治污染；
㈣ 养成上伞作业员的良好习惯，防治镜片污染（指纹印、口水点及其它）；
㈦ 加快真空室护板更换周期；
㈧ 充气管道清洁，防治气体充入时污染；㈨ 初始排气防涡流（湍流），初始充气防过冲；
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