有些基底本身的化学特性较差，如H-ZK9，耐潮、耐酸性能很弱，在前加工过程中不可避免的会与水接触，会与潮湿空气接触，形成腐蚀，如果前加工与镀膜的周期长（超过5小时）就容易产生膜内色斑，如果是反射膜、红外截至膜，这种色斑就会非常明显，还有可能刚镀完是良品，若干天后还会有色斑显出而成为不良品。
3．研磨抛光工程在镜片表面完工后没有及时将表面处理干净，残留的抛光粉、液等干结在镜片表面，对镜片产生腐蚀或污染。这种腐蚀或污染不能用洗净或擦拭的方法祛除，镀膜后显现的就是色斑。
4． 研磨抛光所用抛光液的PH值匹配没有受控，影响镜片在研磨加工到镀膜加工之间的化学稳定。膜层和膜外色斑产生来源
1．镀膜后，膜层的空隙中渗透了难以消除的杂质，改变了局部膜层的折射率，从而膜外形成色斑。
2．镀膜过程中，有些高折射率基片的温度过高，造成局部膜层（也有可能是膜层和基片的结合部）折射率变异。也会造成膜层色斑产生。
3．膜系匹配中，有的膜层太薄，结晶处于不稳定状态，也可能产生膜层色斑。
4．膜系的膜料选择与基片材料的匹配不好，也是膜层色般的产生原因之一。
5．机组的微量返油，在镜片或膜层中形成局部的极薄的油斑，也是膜层色斑的产生原因，此类色斑处的膜强度一般较差些。膜内色斑改善对策：
一、 加快研磨（抛光）到镀膜的周期，减少镜片被污染腐蚀的几率，注意：是镜片的全部抛光面。
二、 抛光加工中，注意对另一已抛好光的面保护
三、 注意抛光加工中的工装、夹具、加工方法，以免造成对镜片表面局部腐蚀伤害。
四、 抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。五、 控制研磨抛光液的PH值。
六、 镀膜前，用抛光粉（氧化铈、氧化铁）或碳酸钙粉（用甘油或水调和）对镜片抛光面复新。并尽快清洁干净。
七、 加强镀前的离子轰击
八、 对于可见光区减反膜，在满足技术要求的前提下设计制作成单峰形，反射色呈淡绿色，掩盖色斑
九、 对于化学性能较好的镜片，在清洗前先用退膜液或稀酸液浸泡去除腐蚀斑。
十、 选择合适的膜层匹配对色斑改善也有帮助。
十一、 提高基片镀制时的温度，加快水汽的彻底挥发。（但可能会有 膜层色斑产生，要根据具体情况分析对策。）
十二、 第一层镀上Al2O3膜层一般会有好的改善效果。
膜层、膜外色斑改善对策：
一、 对减反膜，设计条件许可时，外层加以SiO2层，10nm左右即可（一般的外层膜是MgF2）。使外层趋于光滑、致密，减少有害物质的侵蚀。（如果镀后离子轰击SiO2层会粗糙。）二、 适当降低蒸镀速率（在一定范围内）提高膜层光滑度，减少吸附。
三、 镜片在出罩后，待冷却后再下伞和擦拭。
四、 镜片在出罩后，放置在洁净干燥的场合待冷却。减少污染可能。
五、 用碳酸钙粉，轻擦去除外层附着物。六、 改善工作环境的湿度、温差。
七、 改善充气口附近的环境，使充入的大气干燥、洁净。八、 工作人员的个人卫生（口罩、服装、手套、指套等）改善。
九、 检讨真空室返油状况，防止返油。十、 适当降低基片温度；（不能影响膜强度）
十一、 改善膜系，取消太薄的膜层，根据硝材特性，选择合适的膜层材料。六、光谱特性
光学薄膜产品中，光谱特性不良（分光不良）是一个常见问题，光谱特性不良是指分光反射（透射）曲线不满足零件产品技术要求，是功能性的不良，生产制造中必须严格监控。
造成光谱特性不良产生的原因有很多，主要的有：
1. 膜系设计：设计时的膜厚、折射率允差太小，试制时的分光曲线在技 术要求的边缘，制造中稍有偏差就导致分光不良。2. 设计的膜料折射率与实际的折射率有差异，或发生了变异。
3. 实镀的中心波长（膜厚）与希望达到的中心波长（膜厚）有差异，或发生了变异。（tooling值（也有叫F值）有偏差）4. 制造中出了差错：如膜料用错、程序用错、预熔时没关挡板等
5. 工艺条件改变：真空度、充氧量、加热温度、蒸发速率、基片旋转速度、离子辅助条件等。
6. 材料变更，如不同厂家生产的同种光学材料（基片材料和膜料）在光学性能化学性能有所不同（有时同厂家不同生产批次也有不同），生产过程中（特别是大批量生产）材料突然变更（未作论证），就可能造成分光不良。
7. 用于测试分光的比较片表面特性变异，造成分光测试不良（也许镜片的分光是OK的，可以比较二者的反射膜色）。这也许是容易忽视的一个问题，又是一个常见的问题，特别是高折射率的测试比较片表面形成一层腐蚀层，相当于有了一层减反膜（很薄），膜层不是堆积在基片上，而是堆积在腐蚀层上，于是比较片上的分光就会不准确、不稳定。往往比较片加工存放的时间远大于基片，存放的环境不如镜片，问题就会更严重。8. 机组工艺稳定性差。（抽速不温、机组震动大、测试片或晶片抖动、旋转不温、伞片变形、温度测量误差大、加热功率不稳等等）
9. 如果使用晶振控制膜厚的，晶振片的品质、晶振片的使用寿命、活性值的变化。同一片晶振片，开始使用的敏感度与使用了一段时间（如6层减反膜镀了3罩）敏感度有一些差异，也会带来整体曲线的偏移。
10. 晶控探头的水冷差，造成晶控不稳定、不可靠，膜厚控制不准确。
11. 刚镀制完成的测试与放置一段时间后的测试，分光特性会有差异。
12. 有些膜料的折射率在成膜后还会有变化（与成膜条件、膜层匹配有关），会造成光谱特性的变化。
13. 镜片折射率变异，有些基片材料，在经过超声波清洗后表面形成一极薄的低折射率层，对分光特性、膜色也有影响14. 采用光控时（非自动控制），光量值设置的不合适，或因为膜料折射率变化使得设置的光量值有了偏差，带来分光特性的偏差或不稳定。
15. 光控中的监控片本身有了腐蚀层，影响了光控的走值。16. 光控中的光信号不稳定（电压波动、接触不良、电子元器件问题等）影响精度和稳定性。
17. 光控中，有的膜层比较薄（特别是第一层比较薄时）不到一个峰值，带来光控的不准确性。18. 非自动控制的光控，人为判断时误差。改善对策：
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