无尘车间管理制度

武汉瑞芯科技有限责任公司

无尘车间管理制度

1.0 管理程序

5．1 无尘车间施工管理制度

5．2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准 5．3 无尘车间人员管理制度 5．4 无尘车间洁净服管理制度

5．5 无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度 5．6 无尘车间清洁、清扫和灭菌管理 5．7 无尘车间洁净室安全管理 车间管理流程 4.1货物进出要求 4.2外来人员进出规范 4.3施工人员进出作业要求

1．0 无尘车间管理的目的

半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。

2．0 无尘车间管理的原则

2.1 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬

入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入无尘车间。

2.2 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人

员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。

2.3 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设

施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。

2.4 清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周

期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。

2.5 洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或

气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。

3．0 适用范围

公司所有无尘生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和无尘仓库管理室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的无尘厂房及其辅助用房。

5．2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准

5.2.1 为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求，必须定期对洁净室内的洁净度进

行检测。

5.2.2 检测测试设备：激光粒子记数器

5.2.3 检测周期：每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测 5.2.4 检测条件：静态洁净度测试

5.2.5 数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存，并在每个季

度末（或下季度初）给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。

5.2.6 各洁净区域洁净级别标准：按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。 5.2.7 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等

（包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、

配电设备、安全报警设施等）执行威世半导体(西安)有限公司厂务部相关SOP文件。

5．3 洁净室人员管理制度

5．3．1 洁净室的人员管理包括：制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、

人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。

5．3．2 人员净化与进入

5.3.2.1 在洁净厂房内众多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人员

在洁净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。

5.3.2.2 对于高级别洁净区域，应严格控制进入人员数量，并规范进行二次更衣。 5.3.2.3 要获得生产环境所需要的空气洁净度等级或延长空气过滤器的使用寿

命，对进入洁净室的人员、物料进行净化十分必要。

5.3.2.4 为保持洁净室空气洁净度，应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物。

所有进人洁净室的人员必须严格地按规定程序进行人身净化。

5.3.2.5 个人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妆，换上指定的服装，按

空气洁净度等级相应的脱衣顺序脱衣，放在规定的衣柜内。

5.3.2.6 进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，禁

止不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。

5.3.2.7 若公司后期发展需要更高洁净级别要求的洁净区域（指高于ISO Class7

级别）进入前，需要设置盟洗室用洗手器洗手（先用洁净洗涤剂洗涤，

5.3.2.8 凡是交叉污染的媒介，要经常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按规定戴手套和指套。 5.3.2.9 5.3.2.10 5.3.2.11 5.3.2.12 5.3.2.13 5.3.2.14 5.3.2.15 5.3.2.16 再用洁净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干）。