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TSMC工艺的 - 版图教程

来源:用户分享 时间:2025/6/1 15:07:35 本文由loading 分享 下载这篇文档手机版
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2、画金属走线

由于该电路简单,只需要一层金属即可,所以只需要LSW中的metal1

在LSW中选中METAL1 drw,然后点版图,然后按P(走线),然后按F3(设置线宽为0.5) ,Q属性可以看到是dg

画完后如下图(注意金属要整个覆盖住MOS管的D端,接触面积大才能保证电流)

3、画POLY1和metal1之间的连接

[不同材料之间相连要打孔。比如Metal1和poly1相连,就选M1_POLY1,Metal1和Metal2相连就选M2_M1,NMOS的衬底接触和体相连用M1_SUB,PMOS管的衬底接触和体相连用M1_NWELL]

LSW中选中poly1-drw,按P,按F3,设置为0.5宽度,画一段poly

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然后在这段poly上打孔,按字母O键,

弹出以下窗口

在Contact Type这里选择 M1_POLY1,Rows这里输入2,然后回车 (鼠标右键可以旋转器件)

将这个通孔放于之前的poly1上

然后metal1与这个通孔相连即实现了金属1层与poly1之间的连接

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接下来输入信号in这里也要这样画,画好之后的整体图如下

4、画衬底接触

这里要分别画PMOS管的衬底接触和NMOS管的衬底接触。按快捷键字母O,在Contact Type这里选择 M1_SUB,这个是NMOS管的衬底接触。

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按快捷键字母O,在Contact Type这里选择M1_NWELL,这个是PMOS管的衬底接触。

5、给PMOS管打阱

[因为现在是P阱工艺,整个画图的版面就是一个P型衬底,而NMOS管是做在P型衬底上面的,所以画NMOS管的时不需要画阱,而画PMOS管时要画nwell(即它的衬底),nwell要包围住PMOS管和它的衬底接触。]

在LSW中选中NWELL-drw,按R,画矩形框,如下图

6、画管脚PIN

在LSW中选中metal1 pin

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