的藏气，提高了真空箱的抽速。真空箱门采用气动开闭机构，操作简单可靠。真空箱采快速接头与工件的接口连接，方便快捷，大大提高了检漏效率。
主抽真空泵采用进口爱德华罗茨泵，性能稳定可靠。
真空测量装置采用莱宝公司皮拉尼真空计，电磁阀采用德国宝蒂公司产品使得测量和控制更加精确，更加稳定可靠。 3.3检漏仪部分
检漏仪部分主要由氦质谱检漏仪、控制阀门及校准部分等组成。氦质谱检漏仪采用英福康LDS1000质谱模块，可以充分利用我公司在检漏仪方面多年的研究，使其和真空箱连接更加协调紧密，或者采用自动调零技术，提高检漏精度，或者为了提高检漏效率，可以根据实际情况在高压或低压下进行检漏，具有极大的灵活性。 3.4电气控制部分
电气控制部分采用 PLC控制，将检漏仪、真空箱和充气回收部分有机的结合在一起，使控制系统更加协调，更加稳定可靠，并在一个彩色触摸屏上操作显示设定各种信息，如抽空时间、工件和真空箱的真空度、充气压力、时间，报警值、漏率等，同时PLC提供被检工件是否合格的输出信号，并输出到标贴打印机。
人工将工件接口与箱内接头连接好并按下双启动按钮后，抽真空（真空箱抽真空、工件内抽真空）、充氦、检漏（大漏、中漏、微漏）、检堵塞、检潮湿、氦回收自动按程序进行工作、识别、控制和报警，触摸显示屏显示；
装置氦检漏时具有循环检测功能，自动按程序对每个工件进行进行工作、识别、控 制和报警、触摸显示屏显示；
显示装置能显示工作过程、动态漏率、合格与不合格、故障诊断并能进行质量控制、统计；
可按工艺任意设定漏率（在检漏仪上）、检测时间、检测压力、报警值等不影响设备运行的操作参数（在触摸显示屏上设定）；
电气控制系统有各种可靠的连锁、保护功能、保护装置动作时装置全部停止，并有报警提示；
具有故障统计功能，能记录最近的故障时间； 触摸屏的主界面类似下图：
3.5清氦系统介绍
设备具有清氦功能，当不合格品漏率值过高时，下一次检漏前，系统自动向被污染的真空箱和公共管道内充入高纯氮气，并对其抽真空，保证设备不会出现因真空箱内氦气本底污染（即氦气本底过高）而产生的误报警（周边环境氦气浓度不能超标）。 3.6打印系统介绍
工件检测结果可输出到打印机，打印出条形码标签。 3.7系统安全性说明
本系统具有以下安全配置，确保系统工作及操作人员的安全： 1. 真空泵组过载保护、过电流保护； 2. 氮气过压、欠压自动保护； 3. 压缩空气欠压自动保护； 4. 氦气过压、欠压自动保护； 5. 真空箱门安全保护光栅； 6. 真空气动阀失灵自动保护报警； 7. 检漏仪未准备好自动保护报警；
8. 检漏仪工作过程发生故障自动保护报警； 9. 检漏仪高于控制点自动保护报警和等待； 10. 氦气浓度低于设定设定值自动报警和提示； 11. 真空箱门有到位信号、无撞击；
12. 工件在检漏（大漏、中漏、微漏）、抽空有漏自动报警提示、工件合格与
不合格分辨明确； 13. 各压力容器有相关安全装置
14. 设有操作面急停开关，维修点急停开关，有相应的安全操作指示。 3.8设备外观及其他说明
1. 系统内各部件布局合理（显示仪表、控制开关、指示灯、各电气部件、
过滤器等）、各易损件易于拆卸、更换、方便维修；各滑轨、护板、护栏等设置应美观大方；
2. 控制线路两端具有明确标号；接线排座有对应接线端子文字说明； 3. 各气管标注流向、电线配有线槽，线槽材料结实；
4. 管道走向规范、合理，色彩符合国家的相关标准，并有清晰的文字标识
及流向标识，不杂乱交叉。
5. 各气源、电源配置总开关，且安装在易操作的位置；
6. 检漏时的泄漏率可以在氦检机的前面显示，以方便员工查看； 7. 设备电机转向标识清楚，在裸露的传动部位加上防护罩等保护装置； 8. 设备仪表盘符合相关行业标准、国家标准，盘面有区域颜色区别危险、
正常、异常（如：红色代表危险区域、黄色代表异常区域、绿色代表正常区域）。
9. 设备阀门标识在正常工作状态下，是常开，或是常闭。 10. 噪音、废水、废气的排放符合相关的行业标准及国家标准。
四、 真空箱检漏及氦回收系统工作原理
V7 ~Air V6 V1 高压氮气
~Air 真空箱 被检件 V3
检V4 V5 He 真空箱抽空系统
检漏仪
工件抽空系统
回收系统
1、 试压检大漏
检漏时先将工件放入真空箱中，连接完成后，按一下开始按钮，真空箱门自动关闭，打开V3，关闭V4，V6, V7,对真空箱预抽真空，对真空箱预抽的同时打开V1对工件内充入3.0MPa高压氮气，并保压数秒（一般10秒），如果工件没有大漏则压力可保持。如果在设定时间内无法保持压力，则说明工件有大漏，系统自动给出声光报警，此时需要将系统停止，按一下确认按钮，打开箱门取下工件，并贴上相应标识。
注：充气时间一般在5～10S左右，若充气时间过快，则系统自动报警，说明工件堵塞。 2、 湿度检测
若没有发现大漏，可关闭V1，打开V6，放掉工件内高压氮气，然后关闭V6，打开V4对工件抽真空，在指定时间内抽到600帕，保压5秒，如果工件内真空保持在1000帕(此值可设定)以下则说明工件内湿度满足要求，否则湿度超标，系统会自动给出声光报警，用户可将系统停止后将工件取出，贴上相应标识，进行相应的处理。 3、 检中漏
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