MEMS致动器原理 - 图文 

MEMS致动器

MEMS Actuators

清华大学

微米纳米技术研究中心

叶雄英

2012.10.22

微致动器定义

?致动器定义：

?通过电、光等信号直接或间接控制机械结构，使之发生变形、移动或防止变形的机构，称为致动器。

?微致动器的功能：

?驱动微型结构，产生变形、位移或力输出；

?平衡微型结构，防止变形或偏移

?致动方式：

?静电致动 ?电磁致动 ?压电致动 ?电热致动

微致动器 Micro Actuator

?微型致动器件：

?微型马达 ?微型谐振器 ?微型继电器 ?微型光/RF开关 ?灵巧蒙皮 ?微型泵/阀

静电致动器

Electrostatic Actuator

?利用电极间电荷的库仑力致动。 ?微型静电致动器：

?平板电极驱动器 ?梳状驱动器 ?旋转马达

?SDA（ Scratch Drive Actuator ）

平板电极致动器

?平板电极致动器相当于平板电容，作用于电极板上的静电力：

Fe

V

Strong function

of gap!