MEMS致动器原理 - 图文 

几种大位移致动器

Residual Stress Cantilever (RSC)

Scratch-Drive Actuator (SDA)

Vertical Thermal Actuator (VTA)

Horizontal

Thermal Actuator (HTA)

Summary

?Electrostatic Actuators

?Parallel-plate electrostatic actuators ?Comb drive ?SDA ?Motor

?Magnetic actuators ?Piezoelectric actuators ?Thermal actuators

微型传感器

Micro Sensors

What is a Sensor

传感器：把被测量转换为电信号输

出的器件。

?以测量对象分类，微型传感器有：压力、加速度、角速度、力、触觉、流量、磁场、温度、红外、气体、湿度、pH值、离子浓度和生物等等。 ?以工作方式分类，力学/物理量：压阻式、电容式、压电式、场发射式、隧道效应式、谐振式、热式、光学型；生化量：热式、质量型、电量型、光学型、电化学式等。

微型传感器的历史

?早在60年代初，就已开发出了实用半导体应变片；MEMS First Bucket of Gold ?1962年第一个硅微型压力传感器问世 ； ?79年研制出第一个微硅加速度计； ?94年出现了大批量生产的用于汽车防撞气囊的集成微加速度计。