加热抽空，加热抽空时应将各设备的阀门关闭或用盲板隔断，抽至真空度≥0.098Mpa,然后充入分析合格的纯F22至0.02Mpa，通知分析岗位分析水、氧含量，若不合格，将设备内气相F22回收后，按前所述方法再进行处理，直至处理合格，设备合格后，设备内F22余压不要放去，保持设备内正压～0.015 Mpa以上备用。
⑶ 精馏塔的处理：精馏塔的水、氧含量的处理也可按上面的处理方法进行，如多次处理后还是不合格，可采取F22循环处理法进行处理，具体处理方法如下：a. 首先检查精馏装置和裂解气处理系统的管道和阀门是否处于正常开车状态。b. 启用氯化钙脱水装置，使氯化钙盐水温度降到工艺规定指标。c. 处理一级、二级压缩前缓冲罐和压缩机（此时暂不使用除氧塔和回收贮槽，塔内气体可通过临时管道回收至一级缓冲罐，除氧塔走旁路进入二级缓冲罐，使用冷盐水的冷凝器暂不开冷盐水）d. 注意：在上述裂解气处理设备的水、氧含量合格后方可进行循环处理法。e. 将要处理的精馏塔的塔釜加热抽空（如有条件的话，还可在塔顶同时抽空），在真空度达到≥0.098Mpa后在抽空1小时左右，通过1＃低沸塔塔釜加热分析合格的纯F22（塔顶冷凝器冷盐水不要开启），使气相F22按流程进入后四个塔，各塔塔顶排气至一级缓冲罐，通过压缩和氯化钙脱水后再进入精馏塔，不断循环，再循环至各塔顶温度至正温时，就可对各塔一一进行水分析，不合格可继续循环处理，直至各塔的水含量合格，再进行分析各塔的氧含量，氧含量合格以后，可将各塔内的压力回收正压～0.015 Mpa以上备用。
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⑷ 对设备的氧含量处理过程必须严格按操作规程进行操作，同时必须做好处理的操作和分析记录，如过程中还有设备管道或仪表的检修也都应进行记录，水、氧含量的分析单要保存好，合格后，由装置负责人和操作人员共同进行签证备案。
⑸ 对精馏装置的处理接受后，应做好开车的一些其它准备工作：a. 向萜烯溶剂槽用计量泵加入萜烯溶剂至贮槽液位～1/2。b. 检查各设备的仪表阀门是否已经处于正常开车的位置，机泵的启动开关是否已处于自动或手动位置，冷盐水、蒸汽、流量计气动阀的前后阀门是否已经打开。c. 通知分析岗位做好开车分析准备工作。 3.8 整个四氟乙烯装置的设备处理和开车准备工作都已完成后，经岗位操作人员和装置负责人共同检查确认装置已处于可开车状态，通知裂解岗位的操作人员精馏岗位开车准备工作已完成，裂解岗位可以投料开车。
四. 各塔的正常开车操作：
4.1 1#低沸塔（T-604）的正常开车操作：
4.1.1 在DCS上手动设定好塔的操作压力、蒸发量、压差的控制值（开始开车的时候，DCS操作设定的蒸发量一般是由低至高，慢慢调节，初期采用手动控制，至操作稳定后，再切换至自动控制，而压差和回流量则随蒸发量而自动显示数值，压力控制可以直接设定在自动控制位置，但设定值可以根据进料情况缓慢调节至工艺规定值）。
4.1.2 开启现场温度、压力、压差、液位、进料流量仪表的阀门，并
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