成都浩朗科技有限公司200MW高效太阳能电池片、100MW高效太阳能电池组件生产项目环境影响报告书简本
4、去磷硅玻璃（去PSG）
由于扩散工艺的扩散作用在硅片表面会形成一层磷硅玻璃（Phospho Silicate Glass，简称PSG），会影响发射极的电参数，必须予以去除，使用5%wt浓度的HF溶液对刻蚀后的硅片进行浸泡去PSG。将等离子刻蚀后的硅片插入片篮后，进入去PSG机经过低浓度氢氟酸的清洗，然后经二级去离子水溢流漂洗，再经过甩干，当硅片表面达到干燥和洁净的要求后，送入后续PECVD工序。HF去除PSG原理为：
SiO2?6HF?H2?SiF6??2H2O
5、镀减反射膜（PEVCD等离子增强化学气相沉积）
PECVD等离子增强化学气相沉积（Plasma Enhanced Chemical Vapor eposition）是利用强电场或磁场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜，是一种干法镀膜方式。
该工艺主要作用是在太阳能电池及硅晶片的表面镀一层SiN薄膜，以硅烷和氨气为气源通过射频电极制备具有抗反射作用的SiN薄膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，增加光电转换效率。它还具有良好的抗氧化和绝缘性能，同时具有良好的掩蔽金属和水离子扩散的能力，化学稳定性良好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外，其他酸基本不起作用。
用吸笔将硅片从片篮中取出，然后放到石墨板上，石墨板进入PECVD腔体内进行镀膜。在450℃下，硅烷和氨气在等离子体作用下，分解成硅和氮原子，硅和氮原子在硅片表面沉积，形成一层氮化硅膜。镀膜结束后，用石英吸笔将冷却后的硅片从石墨板上取下，插入片盒，送入印刷工序。该工艺反应方程式为：
2SiH4 + 2NH3 2SiN + 7H2
PEVCD镀膜结束后，用石英吸笔将冷却后的硅片从石墨板上取下，插入片盒，送入丝网印制与烧结工序。
6、丝网印制与烧结
首先在硅片一面印上背银电极（银浆），经过低温烘干后，再印上背铝层（铝浆），经过第二次低温烘干后，再将硅片翻面印上正银电极（银浆），然后进入烧结炉高温烧结。
烧结就是把印刷到硅片上的电极在高温下烧结成电池片, 使得电极嵌入表面，
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形成牢固的力学接触和良好的电学连接，最终使电极和硅片本身形成欧姆接触,从而提高电池片的开路电压和填充因子两个关键因素参数,使电极的接触具有电阻特性,达到生产高转效率电池片的目的。在该工艺过程中，铝和硅形成共晶合金，在铝背场和衬底之间形成高/低结，有效地阻止了少数载流子向电池的背面扩散，降低了电池背表面和复合率。铝背场可将电池背面的复合速率降低到200em/s以下，此外，硅铝合金能对硅片进行有效地吸杂，硅和银形成欧姆接触，降低了电池的串联电阻。
烧结炉采用红外加热方式,使用石英玻璃管加热器，烧结点温度为800～1000℃。这道工艺后，电池片的制造过程结束，最后电池被送入测试分选工序。
7、测试分选
对电池进行测试，按电池的实际效率进行分档，大概能够分为16个档位，本工序不产生不合格产品，产品分等级出售。
太阳能电池片生产工艺流程及产污位置详见图1。
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纯水 单晶硅片 W1清洗废水 纯水 多晶硅片 W1清洗废水 预清洗（20oC，5min） 超声波清洗机 甩干 预清洗（20oC，5min） 超声波清洗机 甩干 NaOH、硅酸钠、异丙醇、纯水 碱制绒（77～85C， 15～20min） 漂洗+水喷淋（20 oC，6min） 制绒清洗槽 甩干oG1有机废气 W2高浓有机废水 G2酸性废气 W3高浓含氟废水 W5一般含氟废水 HF、HNO3、纯水 酸制绒（6～8C， 1.5～2min） o 纯水 W4 低浓有机废水 G3酸性废气 W6酸性废水 G4酸性废气 W8高浓含氟废水 纯水 溢流反洗（20 oC，6min） 制绒清洗槽 甩干 HCl、纯水 酸洗（20oC，2-3min） 制绒中和槽 NaOH、纯水 碱洗（20 oC，3min） 制绒碱洗槽 W7碱性废水
HF、纯水 纯水 酸洗（20oC，2-3min） 制绒酸洗槽 甩干 纯水 清洗（20 oC，3min） 制绒清洗槽 甩干 G3酸性废气 W6酸性废水 G4酸性废气 W8高浓含氟废水 漂洗（20C，3min） 制绒清洗槽 oHCl、纯水 W9一般含氟废水 HF、纯水 酸洗（20C，2-3min） 制绒酸洗槽 o 纯水 氮气 喷淋（20oC，4min） 制绒清洗槽 酸洗（20oC，2-3min） 制绒酸洗槽 纯水 N2、O2、POCl3 吹干（100oC，5min） 烘干机 预清洗制绒 清洗（20oC，3min） 制绒清洗槽 W9一般含氟废水
纯水 喷淋（20oC，4min） 制绒清洗槽 氮气 吹干（100oC，5min） 干燥室 G5酸性废气 新散（800C，60min） 新散炉 不合格品 银浆 o背银印制 丝网印刷机 新散 少子检验 少子寿命测试仪 G6酸性废气 铝浆 背铝印制 丝网印刷机 G9有机废气 印制烧结 CF4、O2 等离子刻蚀 等离子刻蚀 刻蚀机 不合格品 银浆 正银印制 丝网印刷机 P-N结检测 四探针检测仪 G7酸性废气 W10高浓含氟废水 W11一般含氟废水 烧结 烧结机 HF、纯水 去磷硅玻璃 纯水 HF酸洗 去PSG机 外观、反射率、功率检验 各类检验仪器 16级分选 部分去组件生产车间 氮气 漂洗+水喷淋（20oC，6min） 去PSG机 烘干（100oC，5min） 烘干机 甩干G8碱性废气 出售部分 包装材料 SiH4、NH3 镀减反射膜 包装 包装机 入库 S2废包装材料 检验包装 PEVCD镀膜
PEVCD机 图1 太阳能电池片生产工艺及产污位置图
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1.3.2 太阳能电池组件生产工艺
单体太阳能电池片不能直接做电源使用，必须将若干单体太阳能电池片串、并联连接和严密封装成组件，即为太阳能电池组件。
本项目太阳能电池组件生产工艺主要包括以下内容： 1、电池片分捡选片
由于电池片制作条件的随机性，生产出来的电池性能不尽相同，所以为了有效的将性能一致或相近的电池组合在一起，所以应根据其性能参数进行分类；通过电池分选仪进行电池测试即通过测试电池的输出参数（电流和电压）的大小对其进行分类，以提高电池的利用率，做出质量合格的电池组件。
2、正面焊接
是将裁剪好的汇流带焊接到电池正面（负极）的主栅线上，汇流带为镀锡的铜带，使用自动焊接组件机可以将焊带以多点的形式点焊在主栅线上，焊接用的热源为红外灯（利用红外线的热效应），焊带的长度约为电池边长的2倍。多出的焊带在背面焊接时与后面的电池片的背面电极相连。
3、背面串接
背面焊接是将电池串接在一起形成一个组件串，项目采用的工艺是手动焊接，电池的定位主要靠一个膜具板，上面有放置电池片的凹槽，槽的大小和电池的大小相对应，槽的位置已经设计好，不同规格的组件使用不同的模板，操作者使用焊笔和焊锡丝将“前面电池”的正面电极（负极）焊接到“后面电池”的背面电极（正极）上，这样依次将电池片串接在一起并在组件串的正负极焊接出引线。
4、层压
背面串接好且经过检验合格后，将组件串、玻璃和切割好的EVA、玻璃纤维、TPT背板按照一定的层次（由下向上：玻璃、EVA、电池、EVA、玻璃纤维、TPT背板）敷设好，准备层压。敷设时保证电池串与玻璃等材料的相对位置，调整好电池间的距离，将敷设好的电池放入层压机内，通过抽真空将组件内的空气抽出，然后加热使EVA熔化将电池、玻璃和背板粘接在一起，最后冷却取出组件。本项目使用快速固化EVA，层压循环时间约为25分钟，EVA固化温度为150℃。
5、切边
层压时EVA软化后由于压力而向外延伸固化形成毛边，所以层压完毕后使用切
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