扫描电镜的结构、原理及其操作使用 - 图文

扫描电镜的结构、原理及其操作使用一、实验目的

?了解扫描电镜的工作原理及构造。?初步学习Sirion200场发射扫描电镜的操作方法。

?利用二次电子像对断口形貌进行观察。

二、扫描电镜的构造

优点：?景深长、图像富有立体感；

?图像的放大倍率可在大范围内连续改变，而且分辨率高；

?样品制备方法简单，可动范围大，便于观察；?样品的辐照损伤及污染程度较小；?可实现多功能分析。二、扫描电镜的构造

构成：?电子光学系统，包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈等；

?机械系统，包括支撑部分、样品室；?真空系统；

?样品所产生信号的收集、处理和显示系统。