扫描电镜的结构、原理及其操作使用 - 图文

四、扫描电镜的调整

?高压选择?聚光镜电流的选择

?光阑选择?聚焦与像散校正

?亮度与对比度的选择

四、扫描电镜的调整

?高压选择

扫描电镜的分辨率随加速电压增大而提高，但其衬度随电压增大反而降低，并且加速电压过高污染严重，所以一般在20kV下进行初步观察，而后根据不同的目的选择不同的电压值。

四、扫描电镜的调整

?聚光镜电流的选择

聚光镜电流与像质量有很大关系，聚光镜电流越大，放大倍数越高。同时，聚光镜电流越大，电子束斑越小，相应的分辨率也会越高。

四、扫描电镜的调整

?光阑选择

光阑孔一般是400μ、300μ、200μ、100μ四档，光阑孔径越小，景深越大，分辨率也越高，但电子束流会减小。一般在二次电子像观察中选用300μ或200μ的光阑。