氦质谱检漏仪的检漏方法 - 图文 

压降法检漏

压缩空气或抽真空

被测件将被测件加正压或抽真空到一定的压力，然后关闭阀门，通过真空计观察单位时间内的压力变化

打正压的压降法可以检测到1mbar l/s以上的漏率

而采用抽真空的压降法可以作为对漏率大小的评估，但是，该方法评估的不仅是泄漏，也包括释气。而且，如果漏率较小时（< 10-4mbar l/s），在粗真空下观察压降会消耗很长时间，但在中真空下观察又会受释气的影响！

压降法检漏

?假设一个瓶子的体积为1升?该瓶子的初始压力为4bar

?用压降法观察压力下降到3bar时所用时间?假设漏率为10-7 mb.l/s

压力从4bar 下降到3 bar 需要大约317年的时间！！

气体检测法检漏

氨气检漏法

（最为常用和普遍）

氦质谱检漏仪

卤素检漏仪

氦质谱检漏仪检漏

质谱仪可以根据m/e=4的原则捕捉到被电离的氦气分子，从而获得漏率的大小泄漏! HeHe气流氦质谱检漏仪为什么要选择氦气作为被测气体

无毒

不能燃烧

价格不昂贵

很轻

等等

氦气

化学性质不活泼

气体分子小