tem 区别 和背散射电子被收集而成像. TEM可以构；SEM主要可以标定某一处的元素含量，电压比较低，只是扫描表征样品的质厚衬度，也可以表征样但无法准确测定结构。 品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。 SEM样品要求不算严苛，而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下，一般做成直径3mm的片，然后去做离子减薄，或双喷。 用的，相当于高倍的显微镜TEM是透射电镜，所加电压高，可以打透样品， HRTEM 高分辨透射高分辨电镜物镜极靴间距比较小，所类TEM 电镜 High resolution HRTEM是透射电镜的一种，将晶面间距以双倾台的转角相对于分析型的电镜要小一些。 transmissio通过明暗条纹形象的表示出来。通过n electron 测定明暗条纹的间距，然后与晶体的microscope 标准晶面间距d对比，确定属于哪个晶面。这样很方便的标定出晶面取向，或者材料的生长方向。 用HRTEM研究纳米颗粒可以通过结合高分辨像和能谱分析结果来得到颗粒的结构和成分信息。 EPMA （波电子探针显通过电磁线圈把电子束压缩的很细，高速运动电子束经电磁透镜聚焦成极细能分析微区、微粒微分析仪 可以想象成一个针尖，所以叫电子探的探针（0.2μm到1μm）打在试样上，（1μm3）成份（其他方针，一般电子探针特指配备了3~5道激发微区产生特征X-ray，再经X-ray光法多为分析平均成份）z谱）（背electron 波谱系统，具有光学显微镜定位试样谱仪（WDS）或能谱仪（EDAX、EDS）测量被测元素绝对感量可达散射电probe 分析位置（满足罗兰圆需求，布拉格特征X-ray的波长或能量，达到分析微区10-14gz测量的相对灵子成像micro-analyBSE） zer electronic probe wavelength /energy dis-persive spectrometr衍射原理）的微区分析仪器。电子探成分的目的。 针EPMA有其独特的优势特点，是SEM 运用电子探针发射具有10^3～10^4量级EDS或SEM WDS所不能取代的。 敏度可达万分之一z分析元素范围： 电子伏的电子微束，轰击固体试样表面的电子探针（光谱仪）微区，激发其中的原子产生表微成分的物Z:?11(Na)~92(U) 理信息（电子激发特征X射线）； 特殊Z:?4(Be)~92(U) 用波谱仪（WDS）分析特征性X射线的波能长 Z:?12(Mg)~92(U)目前（或）用能谱仪（EDS）分析特征性X射超薄窗口应用后可以达谱仪y 线的能量。 到Be 由于X射线的波长与能量的关系为：配合扫描附件时，可将γ=1.2396/E；式中波长γ的单位为纳米，形貌和成份分布显现出能量E的单位是千电子伏。据此可以达到来z非破坏性测试，制对微区中某种元素成分、含量范围进行定样简单（断口、金相磨量分析的目的。 片）z相对可见光，谱线简单，分析方便 z能鉴别其他化学方法难分辨的稀土 背散射电子像 背散射电子像是在扫描电子显微镜电子照射到待测样品的过程中，样品能发中，通过电子枪产生的电子，经过加射一部分电子，背散射电子探头就会检测速磁场、偏转磁场后，照射到待检测到这些电子，从而产生相应的电信号，通的样品表面，待检测样品会反射一部过放大电路之后，在对其进行相应的转分的电子，在扫描电子显微镜的工作换，后在检测器上显示相应待检测样品表镜腔里的背散射电子探头就会检测到面的相关信息图像。 这些被反射的电子，进而在检测器上
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