即自动绘制结构。用户可在仿真过程中的任意点绘制任意数目的结构文件。
章节2.4: 自动创建和编辑输入文件
现在，您应该已经了解如何加载、运行和查看TCAD 范例的结果。接下来演示如何简便创建自己工艺仿真输入文件或者修改已有文件。
输入文件为简单的ASCII文本格式，因此它可使用任何ASCII 编辑器创建。 但是，DeckBuild 包含一个简单的GUI，可自动创建工艺仿真输入文件。
为了简化程序，而不必每次从头来创建工艺仿真输入文件，这里将演示如何在现有的输入文件中添加几行代码。通过在每个工序中重复该步骤，该方法同样用于创建整个输入文件。
一旦使用\和\语句（参见载入范例的首几行）定义了仿真空间和初始衬底，工艺仿真则仅包含很多连续的扩散、植入、蚀刻和淀积步骤。其中每一步均可使用DeckBuild自动编写。
回到输入文件的范例中， 假设打算在第一步之后添加一个低能量10keV \。鼠标左击DeckBuild 顶部视窗中首个P-well 植入之后的一行。 然后如下点击：
Commands... Process... Implant
屏幕将出现 \THENA Implant\视窗。创建额外的注入语句行只需填充该方框而已，其方法是使用滑动条、或者填充数值后按下回车键。 对于10keV 硼注入, 剂量1e11/cm2 ，垂直夹角7 度，主平面旋转27度，其注入GUI 如图2.10所示。完成输入信息后，点击\，输入文件中则出现一个新行。
图2.10 完全填充的注入GUI
同样的方式可创建淀积、注入、扩散、电极、创建网格、晶元初始化，结构文件保存等等. 由于输入文件为简单ASCII 文本，要在直观的语法输入文件中编辑参数，仅需使用DeckBuild中附带的复制、粘贴和删除功能。
第3章: 简易使用手册和自学方法
该手册很厚，乍看可能使人有点畏缩的。所以本章节将为新用户演示如何简便使用范例浏览手册，从而找到特定信息。
以章节2.2中列出的输入文件为例，假设我们要理解\参数的用途。它出现在输入文件中器件仿真部分，位于\开头的语句行。
在工艺和器件仿真器中，任何语句行的开头词语均为\语句\。 这个范例中，第一个词语是\。如果我们想要了解\的作用，我们需要先找出 \的信息。 所有的SILVACO产品均有PDF格式的用户手册。要查找器件仿真器的信息，则需要打开ATLAS用户手册。通过在控制台和端子窗口中键入\可启动\工具，再通过\工具可获得用户手册。用户手册如图3.1所示。
图3.1 ATLAS 的PDF用户手册
此手册最显著的特征是\语句\章节。 它包含器件仿真器按字母顺序排列的所有语句。 因为我们要找\语句，点击左边的书签索引上语句章旁边的 \扩展符号。 按字母顺序向下滚动选择 \语句。 点击Models 语句旁边的\扩展符号，可以查看其内容。
这时，我们需要选择 。 如果您已猜到\等于Schottky Read Hall\的组合缩写，即可点击 Recombination Models Flags\章节。 如果不明白\的含义，则点击\标题，回到该章节开头。 这个章节的开头是另一个与模型语句有关的参数，也以字母顺序排列。 向下滚动直至 \，表格显示：参数类型，以及默认数值和单位。 一旦知晓其类型，便可向下滚动在描述章节找到参数。 也可使用\功能在描述部分搜索\。 不论使用何种方法，都可以找到描述SRH 参数的部分，其如图3.2所示。
图3.2 查找到\参数
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