第一范文网 - 专业文章范例文档资料分享平台

Silvaco操作指南-53页

来源:用户分享 时间:2025/5/28 17:01:07 本文由loading 分享 下载这篇文档手机版
说明:文章内容仅供预览,部分内容可能不全,需要完整文档或者需要复制内容,请下载word后使用。下载word有问题请添加微信号:xxxxxxx或QQ:xxxxxx 处理(尽可能给您提供完整文档),感谢您的支持与谅解。

第二篇 Silvaco软件使用指南

第三章 扩散二极管仿真

2.1 硼扩散

要通过扩散来创建一个P+/n 二极管,找到Commands... Process.... Diffuse 则一个弹出菜单如图22所示。如图23一样填空并点击write。

Figure 22: 扩散菜单.

第一个阶段为升温阶段,时间为13分钟,温度从900度到1100度,漫(ramped)形式。温度速率可自动计算为153C/min。在氮气条件下扩散。气压为1个标准大气压。掺杂杂质为硼,浓度为5Χ1021atom/cm3。

第二篇 Silvaco软件使用指南

Figure 23: 在氮气下的Ramp Diffusion

第二个阶段为恒定保持阶段,进行恒定形式的硼扩散,温度为1100度,时间为60分钟,其它条件相同。如图24所示。

第二篇 Silvaco软件使用指南

Figure 24: 60 分钟 B 扩散

第三个阶段为降温过程,温度从1100度下降到900度。扩散形式为Ramped,时间为40分钟。其它条件相同。 如图25所示。

第二篇 Silvaco软件使用指南

Figure 25: 漫下扩散(Ramp down Diffusion).

最终写到deck的语句如下:

要为抽取所做扩散层的薄片电阻及结深,选择Commands.. Extract,如图27填充表单,来进行电阻抽取。

搜索更多关于: Silvaco操作指南-53页 的文档
Silvaco操作指南-53页.doc 将本文的Word文档下载到电脑,方便复制、编辑、收藏和打印
本文链接:https://www.diyifanwen.net/c95ezg5ejpp1oiru32mbr_9.html(转载请注明文章来源)
热门推荐
Copyright © 2012-2023 第一范文网 版权所有 免责声明 | 联系我们
声明 :本网站尊重并保护知识产权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果我们转载的作品侵犯了您的权利,请在一个月内通知我们,我们会及时删除。
客服QQ:xxxxxx 邮箱:xxxxxx@qq.com
渝ICP备2023013149号
Top