防静电工作台检测规范

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防静电工作台检测规范

1 目的

定义防静电工作台检测方法和频率。 2 范围

厂内所有防静电工作台 3 参考文件

阻抗测试仪操作指导书 4 程序

4.1 检测环境

温度：15℃~30℃ 湿度：30% ~70% 4.2 检测设备

静电测量仪 (型号：41201-19250) 4.3 表面阻抗检测方法

4.3.1 取点（按照图片取4组点）

4.3.2 将静电检测仪的两极放在指定位置。

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4.3.3 开始测量 (仪器使用方法参考：阻抗测试仪操作指导书) 4.3.4 记录检测结果。（只记录一个点，按照最大的阻值记录） 4.4 对地阻抗检测方法

4.4.1 取点（按照图片取4组点）

3451 2 4.4.2 将静电检测仪的一个极放在桌面指定位置，一个极放在地上。 4.4.3 开始测量 (仪器使用方法参考：阻抗测试仪操作指导书) 4.4.4 记录检测结果。（只记录一个点，按照最大的阻值记录） 4.5 检测频率：

4.5.1 新铺设防静电皮的工作台。 4.5.2 每半年检测一次。

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工作台垫测试记录表 区域 位置 表面电阻 系统电阻 测试人 日期 测试 结果 备注

测试仪器： 测试人： 环境温度： 环境湿度：

注：工作台的表面电阻值、系统电阻值在106~109之间为合格

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