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电子科技大学2009半导体物理期末考试试卷B试题答案

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………密………封………线………以………内………答………题………无………效……

电子科技大学二零 九 至二零 一零 学年第 一 学期期 末 考试

半导体物理 课程考试题 B卷 ( 120分钟) 考试形式: 闭卷 考试日期 2010年 元月 18日

课程成绩构成:平时 10 分, 期中 5 分, 实验 15 分, 期末 70 分

复核人 一 二 三 四 五 六 七 八 九 十 合计 签名 得分 签名 得 分 一、填空题: (共16分,每空1 分)

1. 简并半导体一般是 重 掺杂半导体,这时 电离杂质 对载流子的散射作用不可忽略。

2. 处在饱和电离区的N型Si半导体在温度升高后,电子迁移率会 下降/减小 ,电阻

率会 上升/增大 。 3. 电子陷阱存在于 P/空穴 型半导体中。

4. 随温度的增加,P型半导体的霍尔系数的符号 由正变为负 。

5. 在半导体中同时掺入施主杂质和受主杂质,它们具有 杂质补偿 的作用,在制

造各种半导体器件时,往往利用这种作用改变半导体的导电性能。

6. ZnO是一种宽禁带半导体,真空制备过程中通常会导致材料缺氧形成氧空位,存在

氧空位的ZnO半导体为 N/电子 型半导体。

7. 相对Si而言,InSb是制作霍尔器件的较好材料,是因为其电子迁移率较 高/大 。 8. 掺金工艺通常用于制造高频器件。金掺入半导体Si中是一种 深能级

杂质,通常起 复合 中心的作用,使得载流子寿命减小。 9. 有效质量 概括了晶体内部势场对载流子的作用,可通过回旋共振实验来测量。 10. 某N型Si半导体的功函数WS 是4.3eV,金属Al的功函数Wm是4.2 eV, 该半导

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体和金属接触时的界面将会形成 反阻挡层接触/欧姆接触 。 11. 有效复合中心的能级位置靠近 禁带中心能级/本征费米能级/Ei 。

12. MIS结构中半导体表面处于临界强反型时,表面少子浓度等于内部多子浓度,表面

反型少子的导电能力已经足够强,称此时金属板上所加电压为 开启电压/阈值电压 。 13. 金属和n型半导体接触形成肖特基势垒,若外加正向偏压于金属,则半导体表面电

子势垒高度将降低,空间电荷区宽度将相应地(减少/变窄/变薄)。 得 分 二、选择题(共15分,每题1 分)

1. 如果对半导体进行重掺杂,会出现的现象是 D 。 A. B. C. D.

禁带变宽

少子迁移率增大 多子浓度减小 简并化

2. 已知室温下Si的本征载流子浓度为ni?1.5?1010cm?3。处于稳态的某掺杂Si半导体

中电子浓度n?1.5?1015cm?3,空穴浓度为p?1.5?1012cm?3,则该半导体 A 。 A.

B. C. D. A. B. C. D.

存在小注入的非平衡载流子 存在大注入的非平衡载流子 处于热平衡态 是简并半导体

若半导体导带中发现电子的几率为0,则该半导体必定处于绝对零度 计算简并半导体载流子浓度时不能用波尔兹曼统计代替费米统计 处于低温弱电离区的半导体,其迁移率和电导率都随温度升高而增大 半导体中,导带电子都处于导带底Ec能级位置

3. 下面说法错误的是 D 。

4. 下面说法正确的是 D 。

A. 空穴是一种真实存在的微观粒子

B. MIS结构电容可等效为绝缘层电容与半导体表面电容的的并联 C. 稳态和热平衡态的物理含义是一样的

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D. 同一种半导体材料中,电子迁移率比空穴迁移率高

5. 空间实验室中失重状态下生长的GaAs与地面生长的GaAs相比,载流子迁移率要高,这是因为 B 。 A. B. C. D. A. B. C. D. A. B. C. D. A. B. C. D.

无杂质污染 晶体生长更完整 化学配比更合理 宇宙射线的照射作用 复合机构 散射机构 禁带宽度 晶体结构 本征半导体 杂质半导体 金属导体 简并半导体

上升 下降 不变

经过一极值后趋近Ei

6. 半导体中少数载流子寿命的大小主要决定于 A 。

7. 若某材料电阻率随温度升高而单调下降,该材料是 A 。

8. 对于只含一种杂质的非简并p型半导体,费米能级随温度上升而 D 。

9. GaAs具有微分负电导现象,原因在于在强电场作用下, A 。

A. B. C. D.

载流子发生能谷间散射 载流子迁移率增大 载流子寿命变大 载流子浓度变小

10. 以下4种不同掺杂情况的N型Ge半导体中,室温下电子迁移率由大到小的顺序是 C 。 a) b) c) d) A. B. C.

掺入浓度1014 cm-3的P原子; 掺入浓度1015 cm-3的P原子;

掺入浓度2×1014 cm-3的P原子,浓度为1014 cm-3的B原子; 掺入浓度3×1015 cm-3的P原子,浓度为2×1015 cm-3的B原子。 abcd bcda acbd

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D. dcba

11. 以下4种Si半导体,室温下功函数由大到小的顺序是 C 。 a) b) c) d) A. B. C. D.

12. 以下4种不同掺杂情况的半导体,热平衡时室温下少子浓度最高的是 D 。 A. B. C. D.

掺入浓度1015 cm-3 P原子的Si半导体; 掺入浓度1014 cm-3 B原子的Si半导体; 掺入浓度1015 cm-3 P原子Ge半导体; 掺入浓度1014 cm-3 B原子Ge半导体。

掺入浓度1016 cm-3的B原子; 掺入浓度1016 cm-3的P原子;

掺入浓度1016 cm-3的P原子,浓度为1015 cm-3的B原子; 纯净硅。 abcd cdba adcb dabc

(已知室温时:Si的本征载流子浓度ni?1.5?1010cm?3,Ge的本征载流子浓度

ni?2.4?1013cm?3)

13. 直接复合时,小注入的P型半导体的非平衡载流子寿命 ?d 决定于 B 。

A.

1 rdn01 rd?p B.

1 rdp0C. D. 其它

14. 在金属-SiO2-p型Si构成的MIS结构中,SiO2中分布的可动正电荷不会影响 C 。 A. B. C. D.

半导体表面势 平带电压 平带电容 器件的稳定性

15. 不考虑表面态的影响,如需在n型硅上做欧姆电极,以下四种金属中最适合的是 A 。 A. In (Wm=3.8 eV)

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B. Cr (Wm=4.6 eV) C. Au (Wm=4.8 eV) D. Al (Wm=4.2 eV)

得 分 三、 问答题(共31分,共四题, 6 分+10分+10分+5分)

1. 写出下面能带图代表的半导体类型,掺杂程度。 (6分)

ECEF

i

(a)

E E

V

EC

i

(b)

E E E

FV

(c)

E E

EC

FV

EC

i

E E E

FV

ECEFEi

E

V E E E

EC

iFV

(d) (e) (f)

答:(a) 强n型 (b) 弱p型 (c) 本征型或高度补偿型

(d) 简并、p型 (e) 弱n型 (f) 强p型

2. 型半导体衬底形成的MIS结构,画出外加不同偏压下积累、平带、耗尽、反型四种状态的能带图。画出理想的低频和高频电容-电压曲线。解释平带电压。 (10分) 答: 图略(各2分,共8分)

平带电压:功函数或者绝缘层电荷等因素引起半导体内能带发生弯曲,为了恢复平带状态所需加的外加栅偏压。或者使半导体内没有能带弯曲时所加的栅电压。 (2分)

3. 写出至少两种测试载流子浓度的实验方法,并说明实验测试原理。 (10分) 答:可以采用C-V测试以及霍耳效应来测试载流子浓度;(2分)

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