环境扫描电子显微镜的成像特点(2)

sem成像原理

１７２０福建分析测试称为气体二次电子），这种加速一电离过程的不断重复，使初始：二次电子信号呈连续比例级数放大，ＧＳＥＤ探头接收这些信号并将其直接传到电子放大

器放大成电信号去调制显象管或其它成像系统（见图２）。

ＧＳＥＤ

探头

电子分子离子样品

图２

２．２工作特点

（１）ＧＳＥＤ探头不含高压元件，可以在低真空的

多气体环境中工作，故可以观察含有适量水分的生物样品；（２）信号的初始放大靠电离气体分子进行，不再需要光电倍增管，ＧＳＥＤ探头对光、对热不再敏感，故可以观察发光材料和使用热台；（３）当绝缘样品表面沉积电荷时，形成的电场会吸引被电离的气体中的正离子而被中和。故非导体样品表面不再

进行金属化喷涂处理，从而更好地观察样品表面的

细节；也节省了处理样品的中间环节；（４）由于ＧＳＥＤ探头弥补了ＥＴ探头的缺点，使得环境扫描

电子显微镜的运用范围大大扩展。样品室内的适量

气体对其工作性能不但没有影响，反而有益，气体越容易电离，所获得的放大增益越高，改变探头的偏置电压长ｐ可调节增益或适应于不同的气体。由于水蒸汽获取方便，没有毒性，容易电离，成像性能

佳，因此成为最常用的气体。但ＧＳＥＤ由于在物镜

极靴下面，正对着样品，被放射电子由于能量大，能直接射向ＧＳＥＤ探头，因此图像背景较深，对图像的对比度会有些影响。３

环境扫描电镜的应用

环境扫描电子显微镜除了具有传统扫描电子显

微镜所有功能外，还具有在低真空下观察含有一定水分的样品和非导体样品。特别对生物样品的观察，省去了脱水、喷金属化等处理的中间制样环节，使得样品能保持原有的微观形貌，这对于观察研究生

万　

方数据仪器开发与维修

物微观形貌是非常重要的环节。在传统扫描电子显微镜中，动物、植物样品不通过脱水等处理是不能

观察的。动、植物样品通过脱水等处理后，样品的

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