(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号
CN110517973A
(43)申请公布日 2019.11.29(21)申请号CN201910413392.7
(22)申请日2019.05.17
(71)申请人株式会社迪思科
地址日本东京都
(72)发明人福冈武臣
(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司
代理人乔婉
(51)Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
切削装置
(57)摘要
提供切削装置,即使在能够更换多孔卡盘
工作台和治具卡盘工作台的结构中,也能够准确
地判定多孔卡盘工作台上是否载置有被加工物。
切削装置具有:第2开闭阀(86),其设置于第1
分支路(83);压力传感器(87),其设置于第1分
支路(83)的第2开闭阀(86)与工作台基座(18)之
间,对第1分支路(83)的压力进行测量;判定部
(74),在将第1开闭阀(85)打开的状态下,在利
用压力传感器(87)所测量的负压未达到基准值的
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