5.6.2 ESD防护地板、地垫
除非制造工艺要求需要使用导(静)电地板,EPA应采用静电耗散地板或地垫并接地良好,其对地电阻和表面(点对点)电阻的要求见表1。对地电阻的测量原理按SJ/T10694的图5。表面(点对点)电阻的测量原理按SJ/T10694的图4,每4m2随机抽取5点并取中心对四角4次测量结果的平均值,测量点遗著板的边缘不得小于10mm。
5.6.3 ESD防护腕带、鞋束(足跟带)
在ESD防护工作台面的二个角落上应配置供腕带接地用的插孔(即EBP)二个,一个供操作人员使用,另一个供其他相关人员使用。
腕带内表面(与手腕的接触面)对地电阻应符合表1的规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.1条。
在腕带被除数佩戴情况下,对地电阻应符合表1的规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.3条。
供连接腕带用的腕带连线,其端对端之间的电阻应符合表1规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.2条。
在使用腕带不方便的情况下,在使用鞋束(足跟带)进行人体防护接地。鞋束(足跟带)应由静电耗散材料制作,其系统电阻值应符合表1,测量原理及方法按SJ/T10694第6.10条。
5.6.4 物品存放架、内部运输小车(物流车)
应能通过支脚或轮子接地,它与工件接触的表面应由静电耗散材料制作。对地电阻和表面(点对点)电阻值应符合不1。对地电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.8条。表面临着点对点)电阻的测量原理及方法近SJ/T10694第6.4.1条。
5.6.5 转容器(箱、盘、盒)其内、外表面(点对点)电阻应符合表1规定。电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第
6.7条。
5.6.6 工作椅
工作椅应能通过支脚或轮接地,在正常操作情况下与人体接触的表面应由耗散材料制作。工作椅的对地电阻和表面(点对点)电阻值应符合表1规定。对地电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.5.1条。表面(点对点)电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.5.2条。
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