防静电工作区技术要求GJB30(5)

5．5．1防静电接地分系统

EPA的防静电接地分系统包括人体防静电接地、地坪防静电接地和操作装置、仪器的防静电接地等。除个别指明需采用硬接地者外，一般采用软接地方式，其接地电阻可由外接电阻、材料内固有电阻或它们的组合构成。各种防静电接地的接地电阻要求见5.6条。

5．5．2 接地安装注意事项

5．5．2．1 防静电接地分系统可利用故障保护地线或信号参考地线（直流工作地线）作为接地母线。

5．5．2．2 不允许交流线路的走线与直线地线紧贴或平行铺设，以防以直流信号造成干扰。

5．5．2．3 各接地分系统的连线之间应当相互隔离，为此应使用带绝缘外皮的导线。

5．5．2．4 各接地干线之间的连接应采用钎焊、熔焊或压力连接件、卡箍等进行搭接连接。

5．5．2．5 防静电工具、装置等接地端子允许使用易于装拆的各种夹式连接器，例如鳄鱼夹、插头座等，但应确保电气连接可靠。

5．5．2．6 防静电工作台和装置、设备等的故障保护地线应采用最小截机积不小于1.25mm2的多股敷塑导线，外皮颜色为黄绿色。

5.6 各种器材、用具的静电性能

5.6.1 ESD防护工作台面

除非制造工艺要求需要使用导（静）电工作台面，EPA内的ESD防扩工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。推荐工作台面尺寸为1200mm×600mm。ESD防护工作台面的对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。对地电阻测量原理按SJ/T10694的图7，测量电表的一端接到腕带接地插孔上，另一个电极距此0.9m，测量5个点（测量电极以0.9m为半径的绕接地插孔旋转移动），取其平均值。表面（点对点）电阻测量原理按SJ/T106409的图6a，二测试电极相距0.9m，共测量5组数据取平均值。测量时一个电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动。

表1 EPA 内各种器材的静电性能要求

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