热丝化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜(20)

热丝化学气相沉积

热丝化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜

法，将常规金刚石和纳米金刚石有机地结合起来，即在沉积好常规金刚石涂层的基础上，原位继续沉积一层纳米金刚石薄膜，形成复合涂层。沉积纳米金刚石的设备与常规金刚石的完全相同，只是改变工艺条件而已。纳米金刚石复合涂层，既具有常规涂层附着力强、耐磨等特点，又具有纳米金刚石涂层表面平整光滑、摩擦系数小、容易研磨抛光等新的优点，是一种理想的组合。采用纳米金刚石复合涂层技术开发研制的各种涂层产品（拉丝模、涂粉模、紧压模、定径套、轴承支撑器和拉深模等），不仅将大幅度提高模具和工具的使用寿命，有效降低成本和提高生产效率，而且能从根本上改进加工质量，提升产品档次，具有广阔的应用前景。

１。６本论文研究目的、意义及内容

纳米金刚石薄膜既具有良好的导热性能和机械性能，又有非常好的表面特征和光学特征，因此作为保护层具有非常重要实际价值。

制备纳米金刚石薄膜技术及工艺比较成熟，但是事实上在大量公开发表的文献中纳米金刚石薄膜是被沉积于Ｓｉ上的，重要的原因是纳米金刚石薄膜与其他基体材料特别是金属材料的粘着性较差，低的粘着性是由于高的内应力及膜基之间物理和化学性能差异造成的。碳原子和基体原子之间的相互扩散也会影响金刚石膜的形成。在实际应用上，尤其是在作为耐磨涂层，工模具保护层等机械领域的应用中，基底材料许多都是合金或金属材料，但是在大量的实验中发现，衬底为合金或金属时，薄膜沉积过程中会出现崩落，以及沉积速率低、不能实现大面积沉积、成本高等现象。

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