热丝化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜(24)

热丝化学气相沉积

大连理工大学硕士学位论文

１、基片２、带水冷的蘩片托

３、灯丝４、灯丝架

５，进气系统气体扩散装鼹

６、进气翻７、嫠片托水冷

８、抽气口９、黼热板

ｌＯ，ｊ髭黎窗ｌｌ、反应室外瓷

１２，灯缝电源

１３、馅堰电源

图２．２实验装置示意图

Ｆｉｇ．２．２Ｔｈｅｓｃｈｅｍａｔｉｃｄｒａｗｉｎｇｏｆｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｅｑｕｉｐｍｅｎｔ

２．１．２真空系统

表２．１不同真空区域的物理特性

Ｔａｂ．２．１Ｔｈｅｐｈｙｓｉｃａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔｖａｃｕｕｍａｒｅａｓ

低真空中真空高真空超高真空极高真空

平均吸附时间气体分子以空间飞行为主气体分子以吸附停留为主

在真空室中，由气源发出的镀料，以原子或分子状随机运动状态，以声速到数千倍声速的高速度，向着基板飞行。对于这种成膜过程来说，真空环境是不可缺少的。否则，一１３一

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