多晶硅铸锭炉生产工艺控制技术和设备组(5)

高中物理教学艺术

图2 软件控制流程图
5 结论
多晶硅铸锭炉是我所2006年国家863科研攻
关项目。于2006年立项经过两年艰苦攻关，在借鉴
国外先进技术的基础上，结合本国国情，2008年完
成工艺实验，取得了良好的控制效果。并已基本定
型。DDL一240多晶硅铸锭炉的工艺流程及控制系
统属我所自主研发，并取得了非常好的控制效果，完
全达到国外同类技术的水平。在某些控制技术方面
甚至超过国外同类设备。
参考文献：
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版社，2001．
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社，2006．
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[J]．电子工艺技术，2008，29(4)：227—230．
[4] 杨新社，贾育秦．可编程自动控制器的发展现状及趋
势[J]．电子工艺技术，2007，28(2)：106—107．
收稿日期：2008—08—06

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